基于光反馈自混合干涉的位移测量算法设计及滤波-激光与红外.PDF

第 卷 第 期 激 光 与 红 外 年 月 光电技术与系统 文章编号 基于光反馈自混合干涉的位移测量算法设计及滤波 姬静毅 叶会英 禹延光 郑州大学信息工程学院河南 郑州 摘 要 为实现适度光反馈机制下位移的测量 研究设计了基于相位解卷的位移测量算法 为 了提高测量精度对光反馈自混合干涉信号进行了预处理重点研究了光反馈自混合干涉信号 的滤波问题 通过仿真和实验 验证了本文方法的可行性 在光反馈自混合干涉位移测量系 统中 使用本文所设计的方法可以重构出高精度的物体振动轨迹 关键词位移测量光反馈自混合干涉 自适应滤波半导体激光器 中图分类号文献标识码 等 引言 条纹计数法 量程大信号处理简单易于实 光反馈自混合干涉 现但分辨率限于半个光波波长相位测量法的分辨 是指激光器输出光照射到外部 率很高 但测量范围仅限于一个波长范围内 文 物体上其中一部分激光被反射或散射后又反馈回 献 基于数字信号处理的位移信号重构方法精 激光器的谐振腔反馈光与腔内光混合后调制了激 度可达几十纳米但是没有讨论噪声的处理 文 光器的输出光 从而改变了出射激光的能量和频 献 中的位移重构算法分辨率可以达到 但 率 由于反馈光携带外部反射物体运动和状态 只适用于弱光反馈情况 信息故可将其用于几何量和机械量的测量如位移 测量振动测量及速度测量等 基金项目国家自然基金项目 资助 作者简介姬静毅 女硕士研究生主要研究方向为 目前 光反馈自混合干涉技术应用于位移测量