声激励共振法测量微机械材料的杨氏模量Acoustically - 声学技术.PDF

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2017-06-27 发布于天津
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声激励共振法测量微机械材料的杨氏模量Acoustically - 声学技术

: 1000-3630( 2000) 04-0 187-03 顾利忠, 左铭旺, 苏菲 ( , 100084) : : ; ; : O424 : A Acoustically- excited method for Young. s modulus measurement of micro-machined materials GU L-i zhong , ZUO Ming-wang, SU F i ( D partm nt of Automation, Tsinghua Univ rsity, B ijing 100084, China) Abstract: Young. s modulus m asur m nt of micro-machin d mat rials is a n w t chniqu propos d w ith th app ar- anc of th micro-machin d parts. This articl summariz d th publish d m thods for Young. s modulus m asur - m nt of th micro-machin d mat rials, and propos d an acoustically- x cit d m thod for m asur m nt of th micro- machin d mat rials. This m thod has som f atur s such as t st ing d vic s simpl , asy op ration and high accura- cy. Key words: Young. s modulus; acoust ically- x cit d; micromachin d mat rials , 1 引言 , , , 60 , , 10 , , , , , , , , [ 1] , , [ 2] , , 2 静态应变和静电激励共振测量法 ( ) 2. 1 : 1999- 11-06; : 1999- 12- 15 1965 , Jaccoding Schl g l ( : Si- SiO , :