干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃及其对有机电致发光器件性能的影响.pdfVIP

第22卷 第6期 液 晶 与 显 示 V0l_22，NO．6 2007年 12月 Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays Dec．，2007 文章编号：1007—2780(2007)06—0677—05 干冰微粒喷射法清洗ITO玻璃及其 对有机电致发光器件性能的影响 齐 童，李军建，李 璐，王 军 (电子科技大学 光电信息学院，四川 成都 610054，E—mail：qitongfly@126．corn) 摘 要：采用干冰微粒喷射法对IT()玻璃表面进行了清洁处理，并与浸泡式低频超声波湿法 清洗的ITO玻璃进行了对比测量，结果表明：干冰微粒喷射法处理后，ITO薄膜表面的接触 角减小，表面污染物颗粒数量下降，ITO薄膜表面上碳的含量较之未处理时降低了48．5 ， 锡、铟的含量分别增加了533．33％和267．57 ，说明干冰微粒法对IT()薄膜表面的有机污 染物和杂质颗粒的清洗效果超过了超声波湿法。此后，制备了干冰微粒法清洗 ITO阳极的 有机电致发光器件(OLED)器件，以及结构相同但IT0电极是用超声波湿法清洗的OLED器 件，对这两种器件的参数进行了测量，其结果表明：干冰微粒喷射法清洗器件的启亮电压、亮 度和电流效率与超声波湿法清洗的相比较均有所改善。 关 键 词：()LED；IT()；干冰微粒喷射法；清洗 中图分类号：TN873．3 文献标识码：A 基片、金属、陶瓷、光学器件、聚合体表面、CMOS 1 引 言 图像传感器的清洗方面取得了良好的清洗 ()LED具有拿固态、主动发光、高亮度、高对 效果 ” 。 比度、超薄、低成本、低功耗、视角大、工作温度范 围宽等诸多优点，被认为是目前最有发展前景的 2 原 理 平板显示器之一lJ ]。ITO薄膜具有高载流子浓度 干冰微粒喷射法采用液体或者气体二氧化碳 (10 ～10 cm3)及低电阻率(2～4×10_。 Q·cm)； 作来源，当高压二氧化碳气体通过一个特殊设计 此外，ITO的带隙较宽(E 一3．5～4．3 eV)，对可 的文丘里喷嘴(如图 1所示)喷射而出时，由于截 见光具有很高的透过率l3 ]。由于具有以上独特 面缩小，流速加大而压力降低，在喷射过程中能在 的性质，IT()已被作为透明电极广泛应用于液晶 焓值恒定的情况下发生膨胀，二氧化碳气体温度 及有机电致发光显示器件。 急剧下降，部分气体转变为直径为0．1～100 m l 制作 OI ED时，首先要对 IT()玻璃进行清 的干冰颗粒，形成由二氧化碳气体、固体和液体混 洗，清洗通常是采用有机溶剂超声处理，尽管采用 合而成的高速流体。 去离子水多次冲洗．但IT()膜表面黏附的有机污 染物仍难以全部去除，这将影响ITO薄膜和有机 干冰微粒喷射法的清洗作用是靠两种清洗作 层的接触，进而影响OLED的性能。 用共同完成的