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薄膜太阳能光伏器件工艺制备及测试实验教学平台

-- ISSN 1002 4956 实 验 技 术 与 管 理 . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. . . . . .— — 第 31卷 第 6期 20i4年 6月 CN11—2034/T ExperimentalTechnologyandManagement Vo1.31 No.6 Jun.2014 薄膜太阳能光伏器件工艺制备及 T~~一一一一~_一一一蚕一一一一一一一一一眦._-一一一~~三一一罟~印mmm一一一一一一~眦m~一一~~一㈨~一_~州~l.∞ 测试实验教学平台 钟 建,顾可可 ,于军胜 ,吴援 明,黄 江 (电子科技大学 光 电信息学院,四川 成都 610054) 摘 要:采用磁控溅射和真空热蒸镀方法制备薄膜太阳能电池并测试其光伏性能,使学生了解薄膜太阳能电 池的结构及制备工艺,熟悉 Keithley半导体测试仪的使用方法 ,绘制薄膜太 阳能 电池 的电流电压 曲线 ,计算薄 膜太阳能电池的各项性能参数,通过对薄膜太阳能电池中每一层薄膜的制备和功能的分析,理解薄膜太阳能 电池的结构和工作原理,并运用于工艺实验环节,着力提升学生的创新实践能力。 关键词:薄膜太阳能电池 ;实验教学平 台;磁控溅射 ;创新实践能力 中图分类号:G642.0 文献标志码 :B 文章编号:1002—4956(2O14)6~0183一O3 Experimentalteachingplatformforfabricationandtestingof thin-film solarphotovoltaicdevices ZhongJian,GuKeke,YuJunsheng,W uYuanming,HuangJiang (CollegeofOptoelectronicInformation,UniversityofElectronicScienceand Technology,Chengdu610054,China) 一一一一~~~~一眦一~_一一室耋.m .~ ~ m一 盯 n _霎 光伏产业 (太阳能电池产业)是全球新能源产业 的 世界能源短缺和环境污染等问题 日趋严重 ,太 阳能 电 重要支柱性产业 ,我国将投入 巨资打造新能源的相关 池的清洁性 、安全性、长寿命、免维护以及 资源可再生 产业并全面布局相关技术的研 究与攻关L1]。光伏系 性等优点更加显现 ]。一些发达国家制定 了一系列 统是指产生光伏效应的半导体器件_3],因此,太阳能电

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