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4HSiC肖特基二极管射线探测器的模型与分析-西安电子科技大学
20 5 Vol. 20, No. 5
2008 5 HIGH POWER LASER AND PART ICLE BEAMS May, 2008
: 10014 22(2008)
*
4HSiC
1 1 1 2 1 1
张 林 , 张义门, 张玉明, 张书霞 , 汤晓燕 , 王悦湖
( 1. , 710071;
2. , 710086)
: 4HSiC ,
:
; Au/ SiC , 2. 2 1015 cm- , 0 V
1 . 9 10- 9 C/ Gy, 100 V 24. 5 10- 9 C/ Gy
: 4HSiC; ; ; ; ;
: O472; TL816 : A
Si
[ 1]
, 4HSiC
, 4HSiC
[ 2 ] [ 46] [ 7]
,
[ 810]
, ,
,
, SiC
, 4HSiC ,
, 4HSiC ,
1
4HSiC 1
+ 18 -
n 4HSiC, 7 10 cm ,
20 m; n 0 m, 2. 2 1015
- +
cm ; 1 m n ,
18 -
1 10 cm , Au,
2 mm[ 8]
,
, , Fig. 1 Scheme of the 4HSiC
Schottky diode ray detectors
,
1 4HSiC
, :
;
, SiC
, ,
: , ,
* : :
: ( ; ( 51 110501)
: ( 1981 ) , , , , SiC ; zhanglin@ m ail. x idian. edu. cn
5 : 4HSiC 855
SiC ,
- 8 -
4HSiC ( 10 cm ) , Si
, Au/ SiC ( 1. 2 eV) , , 4HSiC
( Si 10 ) , ,
, Au/ SiC ,
[ 10]
, Si
2
2. 1
[ 11]
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