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STMMBE招标技术指标-论证后_0407

西安交通大学材料科学与工程学院磁控溅射系统招标技术协议本系统由个腔自组合而成，各腔室超高真空链接，实验样品可以不破坏真空在其间转移，具体参数指标为：1）扫描隧道显微镜腔： 1.1）原子操纵及自旋极化扫描隧道显微镜（SP-STM）腔：空间分辨率： X,Y轴 0.1?；Z轴： 0.01? 能量分辨率：~1meV；时间分辨率：1ms 温度： 4.8K 稳定性：热漂移 2?/h，最小工作电流 500fA输运测量：5个外部引线电极，并包含高频信号探测用的电缆光学测量：液氦消耗：4L保持60h以上，在样品上施加2T磁场亦可保证5K温度下维持时间超过45h小时manipulator）,样品控温装置（100~1400K）；离子溅射枪及进气漏阀一套；低能电子衍射仪（LEED/AES），红外测温仪，四极质谱仪，样品解理台，可装掩模板的样品台各一个，高温蒸发源1个。真空度优于 x 10-10 mbar，配备离子泵钛升华泵一涡轮分子泵1.2）自旋极化扫描及原子操纵相关参数：磁场强度：2.0T 针尖：磁性包裹针（钨针尖上镀Fe/Cr/Mn?）自旋极化分别率：单原子 DSP Electronics）及相应STM测量软件，软件中应内置横向（6种典型模式）及纵向原子操纵模块原子操纵方向：横向和纵向可操纵原子：Au、Pt、In、Dy、Mn、Co、Fe等）可移动式分子束外延（MBE）腔：预留11个固体/液体蒸发源接口高温蒸发源2个预留1个气体漏阀接口样品温度范围：80K~ 1500K 腔壁为双层，可通过液氮或冷氮气冷却配有膜厚仪真空度优于 x 10-10 mbar，配备涡轮分子泵快速进样室：分别连接在样品准备腔和分子束外延腔上，真空度须优于5 x 10-8 mbar。