光学空间过滤的显示设备的快速缺陷检测摘要我们目前的快速检验.DOCVIP

光学空间过滤的显示设备的快速缺陷检测 摘要 我们目前的快速检验方法机器视觉在网上的质量保证液晶显示器（ LCD ）和等离子显示器（ PDP ） 。该方法包含了一个光学空间滤波器在傅里叶平面成像光学阻止正常的定期模式提取，只有缺陷的实时而不必依赖密集的软件图像处理。特别强调的是设计一个平行的白色光源，以提供高度的空间相干性，为有效的实时傅立叶变换。在同一时间内，低水平的时间一致性是达到改善缺陷检测能力，避免不良的相干噪声。实验结果表明，所提出的检验方法提供了检测的准确性， 15 ％的，这是足够工业。显示设备，如液晶显示器（ LCD ）和等离子显示器（ PDP ）是成立一个薄玻璃基板上，阵列电极模式是交存。检测缺陷的周期结构的一个重要方面，制造显示设备其中重复的格局阵列几十万像素。为在网上的质量保证等显示设备，大幅度的改善，吞吐量可以作出傅立叶光学，其中只有有缺陷的模式可以提取光学空间滤波在一种快速的方式，而不必依赖费时软件图像处理与机器视觉技术。 已经知道，只要光学傅立叶变换，再加上随后的空间滤波提供了一个快捷的手段，并行处理，在检查一个大目标区定期格局。 这次检查的方法是，作为其工业界的需求，是一起成长，与广泛使用的机器视觉技术。到目前为止，数度尝试已取得等方面的综合电路模式，光刻照片口罩，和织构材料。随着实际应用傅立叶光学，增加正在作出努力就制定有效的空间滤波器，如摄影板，全息板，明胶销孔和光过滤器。 但是，使用相干光，在空间滤波是不能避免的相干噪声和它减少了缺陷检测能力。特别是在检查方式对玻璃基板的显示设备，如LCD和PDP ，厚度变化和倾斜的议案衬底和多思考，从表面产生干涉图样，作为背景噪声对空间过滤的形象对象。 准白色光源是用来产量低，时间的连贯性，以改善缺陷检测能力，避免不良的相干噪声和我们调查的影响，空间的一致性，光照对系统和空间相干性是释放使用效率的光源。白光处理类似的连贯处理系统，除使用白色光源。如果我们，一个， S （X ， Y ）在输入平面的P1图1 ， 复杂的光场为波长λ n背后的镜头， L1的是 ， （， qn ）是指角空间频率坐标系。 S （， qn ）是傅立叶频谱S （X ， Y ） ，= （ 2 π / λ NF ）的α ，和qn = （ 2 π / λ NF ）的β ， （ α ， β ）是线性空间坐标系统（， qn ） 。此外， F是该镜头焦距的L1和C是一个复杂的不断下降和我们不断为简单的分析。如果我们把一个空间滤波器， H （， qn ） ，在空间频率的飞机，那么复杂的光场背后的空间频率是 λ n是： 光谱边缘全部的光源，输入光亮度可以被下式定义： 上述方程是典型的非相干形式的地方，除了由此产生的强度是总和的平方（的X ， Y ： λ n ）的。由于输出强度是指相互相干窄带irradiances ，相干噪声可以压制。图2显示了有限的定期对象及其衍射图样。该衍射图样是产品的两项职能。一个是衍射图样的单位和细胞，另一个是干扰的功能，这是衍射图样的无限阵列和光圈的功能。 其中n是数量的模式; ￠在期阵列;瓦特的宽度，一个，该中心的衍射图样;和F的镜头焦距。衍射模式，定期的对象是一系列的尖峰和大小的峰值是由第一sinc函数方程（ 5 ） 。 长钉直径跌幅为若干特点，氮，在数组中增加和波长， λ氮，录得跌幅。距离为每小时每个波长 侧叶的每穗贡献的边缘整体信封，其中的n代表的模式是，包括和高频率的峰值作出贡献的边缘每个单位细胞的格局。因此，只有中央的高峰期，每穗包含的信息定期模式和旁瓣不包含任何信息，其时间间隔过滤的衍射图样是所取得的放置空间滤波器的衰减，其中所有的中央峰的峰值为整个光谱波段的光源在空间频域。过滤器应封锁中央的高峰期，每轻尖峰每个波长和因此，一个数组不透明点的分离是 4，光学过滤设计 如果一个增量的轮换是适用的对象，同样数额的轮换是诱导在其Fourier谱，由于角度看，保护的原则，傅立叶变换。因此，空间滤波系统必须提供与昂贵的罚款角设置的机制，来阻挡周期的信号。此外，缺陷信息进行灯很容易一群靠近哥伦比亚特区，有一个对称sinc功能简介与零的手段。因此，简单的低通滤波器的通带下面是第一穗在频谱域。截断频率是由 由于直流分量的是通过在过滤机，输出模式，保留缺陷类型信息，即过滤图像可以歧视不透明的和透明的缺陷，这是黑暗和亮点。白光是通过针孔和准直，使平面波或准平面波，以便用于缺陷检测与光学空间滤波，因为轻刺在傅立叶变换窗格应该分开在回到焦平面的傅立叶变换镜头。如果大小的针孔非常小，准直光束得到平面波，但光功率是不够有力，以提供足够的照明大面积，这是需要检查显示装置，其大小是超过十英寸在其对角线。此外，由于大小针孔得到较大，准直光束变得次要空间相干，也有良好的效果，减少相干噪声在除颞不一致的白