光栅尺动态测量仪-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 年 月 光栅尺动态测量仪 刘 岩 龙科慧 王立朋 季 思 国科 长 密 研 , 长 中 学院 春光学精 机械 究所 春 了 , , 绍 了 摘要 阐述 利用激光差外干涉法 检查光栅尺准确度 的原理 并介 根据这一原 。 “ ” 测 士 拌 理而研制成 的 光栅动态测量仪 的特点 该仪器在 范 围内的 量准确度为 并且在生产线上 已经可靠地工作 了三年 。 关键词 光栅尺 激光差外干涉 测量仪 概 述 、 由于计量 , 测试仪器 , 特别是机床数显 数控技术迅速发展 的需要 , 大大地推动 了光栅线位 移 器 又 尺 展 , 于 少 态 测 器 , 量就 了问 , 传感 称光栅 的发 但 由 缺 动 高精度 的检 仪 控制其质 成 题 。 为有效地控制光栅尺生产质量 的提高满足生产 的需要 , 我们研制 了光栅尺动态检测仪 光栅尺动态检测仪器总体技术指标 测量 范 围 。 · · 分辨率 拼 或 产 。 测长准确度 士 拼 。 。 记录速度 而 , 对数据 、 。 键入温度 气压后 , 自动修正其对被测件的影 响 。 无论 尺是正 形还是 波 , 器 能 测 光栅 弦波 方 形 该仪 均 检