基于狭缝光阑的剪切散斑干涉动态测量-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棾 暋 棾 暋 斨旓旍棶棽棾暋斘旓棶棾 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椀 棾 暋 暋 暋暋斖斸旘棶棽棸棻椀 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椀棸棾灢棸椂棿椀灢棸椃 基于狭缝光阑的剪切散斑干涉动态测量 灣 棳 棳 棳 棳 棳 王永红 冯家亚 王 鑫 刘 佩 李骏睿 杨连祥 暋 暋 棬 棳 棭 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽合肥 棽棾棸棸棸椆 椇 暍 棳 暎 摘要 为了精确 实时地测量物体表面的动态形变 提出了基于狭缝光阑的空间载波剪切散斑干涉系统 该系统通过倾 棳 椈 斜迈克尔逊干涉仪的一个平面镜来产生剪切量和载波频率 实现空间频谱的移动 采用一个可调节的狭缝光阑控制散斑 暎 棳 大小和空间频谱宽度 基于傅里叶变换与反变换在空间频率域上提取所需的频谱并计算相位图 最后通过一幅干涉条 暎 暍 棳 纹图得到相位分布信息 采用该系统对一个中心加载 四周固支的薄铝板进行了动态测量 分析了光学系统参数对测量 暎 棳 棳 棳 结果的影响 结果表明 采用像素尺寸为 棿棶椂椀 旐暳棿棶椂椀 旐的高分辨率相机 焦距为 椄旐旐的成像镜头 设置剪切量为 毺 毺 棳 棳 暎 棷 棽椀旐旐狭缝光阑 方向的尺寸为 棻旐旐时 可得到高质量的剪切散斑相位图 该方法可以在棽椀旀旘斸旐斿旙的采集速度 棳 棳 暎 下 以 的视场角实现动态形变的测量 可测形变峰值为 棿棾棶椂曘 棸棶椀暙棾棸 旐 毺 椇 椈 椈 椈 椈 椈 关 键 词 剪切散斑干涉术 空间载波相移 傅里叶变换法 迈克尔逊干涉仪 狭缝光阑 动态形变 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷 斚棿棾椂灡棻暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椀棽棾棸棾棶棸椂棿椀 斢旇斿斸旘旈旑 旙斿斻旊旍斿旈旑旚斿旘旀斿旘旓旐斿旚旘斺斸旙斿斾旓旑旙旍旈旚斸斿旘旚旛旘斿 旂旔 旟 旔 旀旓旘斾旑斸旐旈斻旐斿斸旙旛旘斿旐斿旑