微细电火花加工的微细电极在线检测-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １４ ６ 　 Ｖｏｌ．１４ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００６ １２ Ｄｅｃ．２００６ 　　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００６０６０９９８０６ 　 微细电火花加工的微细电极在线检测 １ ２ １ ２ １ 郭 锐 ，赵万生 ，李 刚 ，李志勇 ，张 勇 　 　 　 （ 哈尔滨工业大学 机电工程学院，黑龙江 哈尔滨 ； １． １５０００１ ２．上海交通大学 机械与动力工程学院，上海 ２０００３０） 摘要：设计了微细电极在线检测系统。系统由卤素灯光源、变焦显微镜头、 摄像机和 自由度支架组成，具有 ＣＣＤ ６ １．６１ ｍ的分辨率和 １１３ ７２９的放大率。在 Ｌｉｎｕｘ平台下，基于 Ｖ４Ｌ２ＡＰＩ开发了图像采集程序，使用 ｍｍａ（）内存映射方 μ ～ ｐ 法获取图像数据。实现了ＩｌＩｍａｅ数据结构和ＱＩｍａｅ类的转换，使图像既可以基于Ｏ ｅｎＣＶ进行处理，又可以基于Ｑｔ ｐ ｇ ｇ ｐ 进行显示，通过 边缘检测算法提取了微细电极的边缘轮廓。实现了电极在线观测的 代码功能，进行了块状电 Ｃａｎｎｙ Ｇ 极电火花磨削微细轴的实验。实验结果表明系统可以在线观察电极状态和在线测量电极尺寸，在线测量值与扫描电镜 离线测量值的相对误差在 ５％以内，解决了微细电火花加工的微细电极在线制造和检测等难题。 关 键 词：微细电火花加工；电极；在线检测 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＧ６６１ Ａ 　　 犕犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅犱犲狊狅狀犾犻狀犲犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋犻狀犿犻犮狉狅犈犇犕 １ ２ １ ２ １ ， ， ， ， ＧＵＯＲｕｉ ＺＨＡＯＷａｎｓｈｅｎ ＬＩＧａｎ ＬＩＺｈｉｏｎ ＺＨＡＮＧＹｏｎ ｇ ｇ ｙ ｇ ｇ （