化学镀钯工艺的研究.pdf

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化学镀钯工艺的研究.pdf

V01.38 第38卷第6期 应用化工 No.6 Chemical j撩。2∞9 2009每6胃 App珏ed Industry 岱_妒、驴、卅舡《卜趔凇墙 ;应用技术2 妨驴、辞-删铲、E盔争、:历争叫∞争圆 化学镀钯工艺的研究 樊群峰,司新生,张海娲,张沁 (陕龋省石油化工研究设计院,陕西西安710054) 摘要:采用无氧紫销为基材,施镀条件为:pH=9.8±O。1,温度霹5—55℃,研究了化学镀钯工艺。缩巢表臻,化学 mL/L 镀锶液优化组成为:3s/L g/LNaH2P02,160NH40H(28%),40s/LNH4CI。镀液稳定性好、温 PdCh,10—15 度藏嚣窕,荔子施镀、便于维护。所褥镀浸垮匀、平整、半兜亮。 关键词:化学镀;钯;镀层;沉积速率;稳定性 153.1+9 文献檬识码:B 文睾编号:1671—3206(2009)06—0908—03 审黧分类号:TQ onchemical Study palladium—platingprocess FAN Hai-juan,ZHANGQin Qun-feng,SIXin—sheng,ZHANG and InstituteofChemical Research Industry,Xi’瓤710054,China) (Shaan妊ProvincialDesign as conditionof is non—OXO substrate.the Abstract:Usingcopper applicationplatedpH=9.8±0.1,tern‘ the is45。55℃。Theofchemical wasstudied.弱eresultshowedthat perature process palladiumplating PdCl is10—1 of ofchemical is is3 component g/L,Nail2P02 5∥L, optimization palladium—plating 40 have of is160 is solution easy NH40HmL/L,NH4CIg/L。The goodstabihty,widerangetemperature to

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