月26板P1故障分析报告.pptVIP

报告人 ：李强 日期：2010/11/26 板P1号机故障处理分析报告 故障现象及其分析 现象：质检测量数据显示膜厚偏差较大（10.18nm），且第3、4列膜厚较低；开反应仓未发现有掉片；检查设备发现第一个微波通风管道脱落，开仓发现石英管烧毁。 分析：得到工艺通知 后，立即观察质检数据，发现连续几组数据都是第三列膜厚较低，且生产反映下午确实发生过掉片现象，故判断应为掉片导致气孔堵塞 ，开仓未发现 掉片后，怀疑设备其他方面有问题，但未能做出具体判断。观察发现一号微波源反射功率偏低，只有3—4，观察历史数据发现从上午11：40左右一号微波源的反射功率开始降低，怀疑微波源有问题，检查微波源时感觉到有气流，对比板2发现微波源处不应有气流，后发现通风管道脱落。 故障的处理过程 处理经过： 11月26日21点左右，由于工艺人员观察质检人员测得片子膜厚相差比较大，怀疑有掉片（且询问生产，确实发生过一次掉片，从质检数据看，下午17：00—19：00之间膜厚偏差较大，经过工艺调节得到一定改善后就没有开仓取片），后立即通知设备人员开反应仓取片。但是21：20开反应仓后没有发现掉片，也未发现任何其他异常，片子可能掉到其他仓体，因其他仓体掉片不会影响片子的膜厚，没有开其他仓，继续交付生产使用，发现质检测得的数据膜厚偏差依然较大，设备人员继续检查设备，23:00发现第一根石英管通风管道脱落，重新连接通风管道并在23：50重新开仓，发现第一根石英管已烧毁，更换石英管和天线，清理反应仓，关仓开机调试后交付生产使用正常。故障解决！ 故障处理后得与失 心得：1.遇到问题时要多方位思考，不能只凭经验判断（当然经验也很重要），才能积累更多的经验。 2.此次处理异常，了解到通风管道的重要性以及脱落后造成的后果，作为反面教材，增加了对膜厚异常处理的新思路。 3.设备人员在日常点检和维护时应该多观察思考，争取及时发现故障隐患，把故障扼杀在萌芽之中。 4.在日常的维修和维护中一定要有足够的安全意识。 附录 时间 第一列 第一列 第二列 第二列 第三列 第三列 第四列 第四列 第五列 第五列 第六列 第六列 8:04 77.51 2.073 81.11 2.045 79.84 2.047 78.35 2.052 77.70 2.057 78.49 2.061 8:34 78.45 2.071 77.37 2.068 78.10 2.061 78.97 2.058 80.24 2.058 77.26 2.080 12:05 77.47 2.065 78.51 2.049 80.25 2.047 78.28 2.051 81.68 2.045 78.83 2.066 12:48 75.40 2.080 77.22 2.058 77.36 2.073 76.53 2.060 79.43 2.056 77.63 2.062 13:32 75.67 2.072 76.62 2.060 75.36 2.066 76.88 2.053 78.88 2.053 76.85 2.073 14:09 75.10 2.084 76.58 2.070 75.86 2.079 76.78 2.078 78.97 2.068 75.90 2.090 14:45 73.61 2.073 73.77 2.061 73.15 2.070 74.87 2.066 76.93 2.058 75.86 2.075 15:17 73.87 2.081 74.18 2.077 74.71 2.084 75.26 2.080 77.36 2.067 76.88 2.081 16:07 77.48 2.077 78.39 2.063 77.44 2.071 79.59 2.066 81.57 2.056 79.93 2.071 16:47 78.58 2.064 78.90 2.066 77.48 2.072 77.72 2.070 79.43 2.073 80.22 2.064 17:15 79.60 2.074 78.56 2.069 73.65 2.094 72.05 2.102 76.57 2.080 74.89 2.079 18:45 80.06 2.