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微细机械切削加工研究进展 第三届先进制造大会报告 朱锟鹏 2015年05月08 日 中国上海 内 容 精密超精密加工 微切削加工 – 定义及特点 微切削与宏观切削区别 – 尺寸效应 研究实例 2 1. 精密与超精密加工 加工方法与设备 车削、铣削 100 磨削 常规加工 CNC 机床 10 研磨、珩磨、 m μ 镗削、磨削 / (1 μm) P 1 度 精 精密加工 精密磨削或车削 工 0.1 加 高精度或超高精 度机床 0.01 超精密加工 游离磨粒加工 (1 nm) 0.001 原子间距离 离子束加工 0.0001 分子操纵 1940 1960 1980 2000 年度 加工精度的发展 [Adapted from [1] ] 3 微切削加工与超精密加工 [Adapted from [5] ] Micro cutting Ultra-precision machining Processes Micro turning, milling, drilling, Single point diamond turning, fly grinding, etc. cutting, etc. Tooling Various tooling materials: (coated) Natural diamond tools tungsten carbide, CVD, CBN, diamond tools Component size 1–1000 μm 1 mm above, Can be very large