子计画三：微机电通用制程平台于多功能感测晶片之应用开发.pdf

行 年 類 行 年年 行 立力 倫 葉 論 理 利 年 年 附件一 ■ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 微小可穿戴型自發電無線式多重健康訊號感測系統 – 子計畫三微機電: 通用製程平台於多功能感測晶片之應用開發研發 (3/3) 計畫類別：□ 個別型計畫 ▓ 整合型計畫 計畫編號： NSC995-2221-E -007-068-MY3 執行期間： 2006 年 8月 1日至 2009 年 7月 31日 計畫主持人：賀陳弘 共同主持人：方維倫 計畫參與人員：詹竣凱 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：□精簡報告 ▓完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、 列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 執行單位：國立清華大學動力機械工程系 中 華 民 國 九 十 八 年 十 月 二 十 四 日 三年計畫期末成果報告 1. 摘要 由於醫療科技的進步，我國已逐步邁向高齡化 社會，但人類壽命的延長，亦改變了疾 病型態，使得罹患慢性病、失能而需人照顧的老年人口大幅增加。此外，出生率的逐年下 降與婦女就業人口的增加，導致家庭結構的改變，使得傳 統以家庭為核心，來照顧老人的 方式，正逐漸改變中，老年人獨立生活的人口比率逐年增長。本計畫所提出之微小可穿戴 型自發電無線式多重健康訊號感測系統，將可提供更完善的高齡居家照護。整合型計劃預 期透過計劃之執行，發展連續性之個人生活與醫療監控警報系統，達成智慧生活感測網路 系統，本子計畫三針對多功能感測晶片技術，進行研究，建立相關的技術，期能透過本計 畫之執行，大幅提升各項技術水準，更能延伸到各相關應用領域上 ，提升國內之技術水平。 經由此計畫的實現，可免去需購買昂貴設備的經費，更可擺脫空間上的限制，患者只需將 感測器直接穿戴在身上，便可正確且迅速地得到自身的生 理訊號，以便即時監控、即時反 應。 關鍵字 : 微機電、微加速度計、微光學面鏡、微感測器 1 2. 執行進度 第一年：微機電通用製程平台 MOSBE II 製程包含以下四種主要特性: (1) 薄膜結構，厚度~2μm ，多重膜層堆疊，具設計彈性。 (2) 多晶矽孔道回填結構，具高低差之垂直致動器。 (3)體蝕刻之體腔，大尺寸可動空間。 (4)具晶片背向蝕刻孔洞。 第二年：光掃瞄面鏡元件開發 (1) 完成單軸光學掃瞄面鏡開發 (2) 完成雙軸光學掃瞄面鏡開發 第三年：電容感測元件之開發 (1) 完成單軸加速度計開發 (