飞秒激光加工光子晶体光纤微型f p传感器研究.pdf

第 卷第 期 光 子 学 报 ３８ １ 　 　 　 Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．１ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２００９ １ Ｊａｎｕａｒ２００９ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｙ 飞秒激光加工光子晶体光纤 微型ＦＰ传感器研究 ， １２ １ １ １ １ ２ ２ 饶云江 ，段德稳 ，杨晓辰 ，邓明 ，朱涛 ，程光华 ，李明 （ 重庆大学 光电技术与系统教育部重点实验室，重庆 ） １ ４０００４４ （ 中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学技术国家重点实验室，西安 ） ２ ７１０１１９ 摘 要：利用飞秒激光脉冲在光子晶体光纤上熔切出微小矩形孔从而构成光纤法珀干涉腔，并对这 　 种传感器进行了实验测试，在 ０ １５００ 的应变范围内，干涉条纹波长相对于应变的灵敏度为０． ～ με ／ ，线性度达 在 其温度系数为 ／ 利用飞秒激光在 ００３６ｎｍ ０．９９８９． －２０℃ １００℃ ０．９５８ｎｍ ℃． με ～ 光纤上加工ＦＰ腔方法简单，能够实现光纤ＦＰ腔的规模化批量制造． 关键词：飞秒激光加工，光纤应变传感器，非本征型光纤ＦＰ传感器，光子晶体光纤 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＮ２５３ Ａ １００４４２１３２００９０１００９１３ 　　　　 　　　　 ０ 引言 器，加工系统装置如图１．ＰＣＦ为折射率导光型ＰＣＦ 　 （ ），主要成分为熔融石英 采用的激 ＥＳＭ１２０１ ＳｉＯ． ２ 光纤法珀腔（ ， ）分为本征腔和 ＦａｂｒＰｅｒｏｔＦＰ 光光源是钛宝石激光再生放大器 （ ， ｙ ＳｉｔｆｉｒｅＦ ｐ 非本征型ＦＰ腔，本征光纤 ＦＰ腔制作起来工艺难 ），波长为