大口径高精度液体静压转台研制.pdfVIP

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2017-06-29 发布于湖北
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大口径高精度液体静压转台研制.pdf

设计与研究测gnandRe湖rCh 2017年第5期大口径高精度液体静压转台研制木吴媛媛①李彬②赵惠英③ ③西安交通大学机械工程学院，陕西西安710049) 摘要：介绍了一种用于大口径非球面镜超精密数控磨床的高精度液体静压转台部件。通过工艺可行性分析和精度传递模型给出了优化的转台结构；采用数值列举法给出了径向和轴向刚度与油膜厚度的设计参数；为考察油膜压力作用下零件变形对转台刚度的影响，采用流固耦合分析方法对零件的强度进行了校核；利用直径为40 mm，圆度为0．05岬的标准球和电感测微仪对回转工作台的径向和轴向跳动进行了测试试验，得到回转工作台轴向和径向误差均小于0．5呻。关键词：高精度液体静压转台；刚度设计；数值列举；流固耦合中图分类号：TP391 文献标识码：A DoI：10．19287／j．cnⅪ．1005—2402．2017．05．016 Ofthe diameter tabIe DeVelOpment highpreCisiOnhydrOStaticrOtary large WU Yuanyuan①，LIBin②，ZHA0Huiying③ ofMechanical 0f of (①school Engineering，ColkgeInfomationBusiness，zhongyuanuniversityTeehnology， 451 19 ofMechatronics of zhengzhou1，cHN；(②school Engineering，zhongyuanuniversity ofMechanical 710049，CHN) 451191，cHN；(萤schoolEngineering，xi’anJiaotonguniversity，xi’an and tabIeforthe mirrorultra Abstract：largehighprecisionhydmstaticmtary largeaspheric precisionNC鲥nding machinewas this the manufactureand tmnsfor- presentby paper．Throughspecimen feasibilityaceuracy mation stlllctureofthe tablewas oftheoil model，theoptimized rotary proposed．Designparametersg印 sizeandstifmesswasverified tothediscretevaluelistmethod．Inorderto the according investigate oil efkctsofthe towardsthetable solid methodwasusedto