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激光划片机 院系：信科学院 仪器 所属 微米纳米加工技术 201201173 编号 实验室 国家级重点实验室 制造商 制造 中国 北京镭杰明 型号 LM-HP-S20 国别 厂商 经费 科研专款 购置 单价 45.00万元 2011年03月 来源 或基金 日期 责任 存放 李悦 微电子所超净间 教授 地点 基 本 信 息 技术指 线宽：20微米，端口：20微米，工作台精度：20微 标及功 米，Z轴精度：50微米。 能简介 激光打标划片。 激光划片机 主要研 微细加工 究方向 在研 或曾 承担 国家自然科学基金 重大 项目 奖项 — 专利 人才 — 培养 相 三年内利用该仪器作为主要科研手段发表学术论文（三大检索） 2 篇，其中代表论文： 关 序号 作者（前三名） 论文题目 期刊名 年 卷（期） 起止页码 科 研 信 Zhang Yacong ， An Integrated Readout Circuit for Personal Dosimeter with Microelectronics 42 1 Zhou Chunzhi ， 2011 334-340 息 Phase-shift Compensation Technique to improve stability Journal （42 ） Shao Jianhui 学 术 论 文 M. Lin ， Enhanced Nitrogen Plasma Immersion Passivation Method for 2 Q. Yun， ICSICT 2012 58-60 58-60 High-K/Ge Stack Formation Min Li 知名 微电子研究院内科研单位 用户 共 是否对 服务 收费 是 本院系教学科研 面议 享 外开放 对象 标准 信 电子 联系 开放 联系人 李婷 lit@ime.pku.edu.cn 工作时间 息 邮件 电话