MC系列紧凑型嵌入式阴极端头.PDF

MC系列紧凑型嵌入式阴极端头 特点  拥有无炭刷功率传输的专利技术  侧滑式简易换靶设计  持久耐用的旋转密封设计  紧凑型设计  万用靶筒接口设计  专利技术的靶筒满注水/全排水设计 专利技术的SCI MC系列嵌入式阴极端头 优点 改造现有的旋转阴极  高可靠性  提供设备改造及集成升级服务  安装维护简便  无需更改阴极盖板  可实现快速换靶  使用系统已有设备  一小时内年度维护时间保证  无需改变电源连接，气体分布及阳极  三小时阴极端头重新组装保证 布置  超低的使用及维护成本  可保留已有磁棒，或升级为TRM-Bar  可适用于任何供应商的靶材 ™ / QRM-Bar™优质磁棒  无感应发热导致的不良影响  兼容目前使用的靶筒接口  整个阴极同电位设计，消除微流腐蚀  靶筒幅宽客户自定义 安装在新系统上 升级平面阴极到旋转阴极  可以单独销售阴极端头, 也可销售阴极  在不增加真空室的情况下，提高现有 端头加上SCI公司的TRiM-Bar™ / 镀膜生产线的产能和质量。 QRM-Bar™优质磁棒，或者完整的智 能e-Cathode™阴极系统，包含驱动及 更多信息，敬请访问以下网站： 相关功能 – 即装即用。 SCI 美国： SCI 中国： 型号 功率 V/A 靶筒长度(mm) MC 高达100kW DC 或者80 kHz MFAC 1000v/225A 最长2000 Sputtering Components Inc. China 上海晓睿真空科技有限公司 上海市浦东新区东川公路3939号 邮编: 201209 客服电话：021客服邮件：Service@ 网址： MC系列紧凑型嵌入式阴极端头 MC系列紧凑型嵌入式端头相关图纸尺寸 Sputtering Components Inc. China 上海晓睿真空科技有限公司 上海市浦东新区东川公路3939号 邮编: 201209 客服电话：021客服邮件：Service@ 网址：