AJ 上BNC)保护膜及增透膜系的制备和性能研究 - 激光与红外.PDF

第 卷 第 期 激 光 与 红 外 年 月 光学材料器件与薄膜 文章编号 上 保护膜及增透膜系的制备和性能研究 刘 伟 张树玉 闫兰琴 袁 果 刘嘉禾 黎建明 杨 海 苏小平 余怀之 北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司北京 摘要用氮氧化铪薄膜作为 衬底的保护膜 由 和 组成的增透膜系分别在 的两面制备了保护膜和增透膜 研究了镀膜前后 在 波段的光学性 能 单面镀制增透膜之后 在此波段的平均透过率由未镀膜前的 提高到了 峰值透过率大于 在 上镀制 保护膜后 其 波段透过率没有明 显的降低同时硬度测试表明薄膜的硬度约为 远大于衬底 的硬度 胶带实验和泡水试验表明 制备的保护膜和增透膜均和衬底有很好的附着力 关键词硫化锌氮氧化铪保护膜增透膜硬度 中图分类号 文献标识码 引言 膜作为 窗口 波段的保护膜材料 多晶材料具有优良的光学和力学性 并在其背面选用由低折射率材料 和高折射率 能是一种先进的长波红外 窗口头罩 材料 组成的增透膜系作为 在