CNTs微悬臂梁光热特性研究 - 内江师范学院.PDF

内江师范学院学报 第 卷第 期 31 10 · · JOURNALOFNEIJIANGNORMALUNIVERSITY No.10Vol.31 38 CNTs微悬臂梁光热特性研究 林 成* (内江师范学院 物理与电子信息工程学院, 内江 四川 ) 641199 : ( ) , 摘 要 研究了红外脉冲激光照射下碳纳米管 微悬臂梁的光热特性 首先 基于热传导模型建立了微 CNTs . ; ; 悬臂梁动态温度状态方程和振动方程 然后采用真空抽滤和 MEMS加工方法制备了CNTs微悬臂梁 再采用波长 , 为 的 激光器作为激励光源测量得到微悬臂梁的振动特性 实验结果表明 微悬臂梁振幅随频率增加 1392nm DFB . , ; 而减小 其最大截止频率约为 173Hz最后采用 CNTs微悬臂作为热传感器测量得到水蒸气的光热光谱信号. : ; ; ; 关键词 微悬臂梁 碳纳米管 光热响应特性 光热传感器 : / / DOI10.13603 .cnki.51-1621z.2016.10.008 j 中图分类号: 文献标志码: 文章编号: ( ) TH744.1 A 1671-1785201610-0038-05 引言 采用波长为 的 激光器作为激励光源 0 1392nm DFB 测量得到微悬臂梁的振动特性 最后采用 微 . CNTs 作为最重要的MEMS器件之一的复合结构微 悬臂作为热传感器测量得到水蒸气的光热光谱信 、 悬臂梁由于具有极高的热灵敏度 可靠性以及易于 , [ ] 号 进而验证了使用 CNTs微悬臂梁作为光热偏转 1-4 , 批量生产等优点 受到了研究者的极大关注 由