XL-80激光干涉仪 - Renishaw resource centre.PDF

XL-80激光干涉仪 机床与坐标测量机 (CMM) 按照国际标准验证机床和坐标测量机的精品 工具 研发与计量 供校准和研究实验室使用的可溯源性测量 运动系统 独特动态性能，支持高速、高分辨率应用 校准是过程控制的基础 现代工业需要满足日益严格的公差、客户计划以及国际质量标准的要求。与此同时，还要承受降低成本的压力，因此生产设备的 工作性能受到前所未有的重视。测量和校准设备可提供帮助... 给设备制造商带来的好处 给设备用户带来的好处 在制造过程中对机器进行测试和 符合ISO 9000系列标准 诊断 建造精度更高的机器 对机器性能进行分级，为每一项作业选 择最佳机器 改进机器设计 通过监测磨损情况，计划并最大限度减 少机器停机时间 减少机器制造周期时间 从竞争对手那里赢得高精度加工合同 提供专业的维护服务 提高产量 证明符合规范 通过识别自身的误差来源延长机器使用 寿命 2 激光干涉测量可提供最精确和可重复的校准方法 激光干涉测量 使用光的波长作为测量单位的基本原理在 世纪 年代左右开始提出。从 波长 19 80 Wavelength 那以后起，这一原理虽然历经发展和完善，但始终以测量光波干涉为依据，因此 得名“干涉测量”。 激光系统射出的光波具有三种主要特性： • 已知精确波长，可实现准确测量 • 波长非常短，可实现精确或高分辨率测量 • 所有光波相位相同，可根据已知的基准进行测量 干涉测量是一种相对运动测量（从初始位置开始测量），而不是一种绝对测量（从特定位置开始测量）。不同的光学镜组将激光 光束穿过不同的路径，可从单个激光装置进行多种模式测量（例如，线性、角度、直线度）。 20 18 (100 m) 环境补偿 16 (25° C) 无论您的激光装置多么准确和稳定，激光的测量波长都会因其 14 (70%) 传播环境而改变。气温、气压和相对湿度的任何变化都将导致测量 12 (970 mbar*) 误差。 10 (0.05 ppm) 若没有可靠准确的波长补偿，即使在典型的环境条件下，也常 8 常会出现20 ppm