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2 蝶形天线增强的HEMT 室温太赫兹探测器孙建东;孙云飞;周宇;张志鹏
2. 蝶形天线增强的HEMT 室温太赫兹探测器
孙建东;孙云飞;周宇;张志鹏;林文魁; 曾春红;吴东岷;张宝顺;秦华;
微纳电子技术, 2011(04)
介绍了一种基于 GaN/AlGaN 高电子迁移率晶体管(HEMT)的高速、高灵敏度室温太赫兹探
测器。在太赫兹波辐射下,HEMT 源漏端产生直流光电流,并能被栅压灵敏地调控。探测器中
新颖的蝶形天线设计使接收到的太赫兹电场得到显著增强,提高了探测器的响应度。通过测
量探测器对不同偏振方向的太赫兹光的响应,有效验证了蝶形天线对太赫兹电场的增强作
用。室温下,探测器的等效噪声功率约为5 ×10-10W/Hz21,平均响应度达42mA/W 。实验结果
表明,光电流的产生与二维电子气沟道的场效应特性和入射太赫兹波电场在电子沟道中的分
布密切相关。自混频理论能很好地描述实验结果。
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