- 1、本文档共40页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
P14-24P26-34P14-24P26-34-半导体科技
P.14-24 P.26-34
P.14-24 P.26-34
P.14-24 P.26-34
P.14-24 P.26-34
P.14-24 P.26-34
P.14-24 P.26-34
P.14-24 P.26-34
Contents
20118/9
Cover Story
14 28
Nano-porous dielectrics and copper barriers for 28nm and below
45 low-k ILD
low-k
28
ILD
k
- Harry Whitesell, Eric Hollar, Kang Sub Yim, Li-Qun Xia, Thomas Nowak, Applied
Materials, Santa Clara, CA USA
Semiconductor Manufacturing
18
Air gaps for interconnects: ready to go?
IC
RC IC k
Si-F Si-CH3
Si-O SiO2 k k
k k 45%-50%
- Gerald Beyer, Marianna Pantouvaki, Zsolt Tokei, IMEC, Leuven, Belgium
21
Scaling transistors: from new materials to new device architectures
, CMOS
您可能关注的文档
- Mini-Review!! 小型综述5香聚酮早期后修饰环化酶的结构я类和功能я析.PDF
- MIMO系统中一种改进的迭代串行干扰消除算法 - 信号处理.PDF
- Miller Twin Turbo双叉个人速差器 - Honeywell Safety Products.PDF
- MOCVD 生长Mg 掺杂Ga N的退火研究3 - Journal of Semiconductors.PDF
- MI4221013数字集成电路 - 微电子学院微电子实验教学中心-首页.DOC
- Moduloc红外热辐射与激光传感器 - 上海派启自动化科技有限公司.PDF
- MMP1 主要分解第I.PDF
- Molex LED集成解决方案.PDF
- MF20激光打标机 - Yueming Laser.PDF
- Microwave Data Systems Inc 工业级高品质无线通信.PPT
- 2025年度高端白酒区域独家经销合作协议书4篇.docx
- 二零二四年度医疗设备区域销售服务合同3篇.docx
- 二零二四年度医疗机构双向转诊服务实施方案9篇.docx
- 二零二四年度劳动合同解除纠纷诉讼状编制规范2篇.docx
- 二零二四年度医疗器械与药品临床试验数据共享合同3篇.docx
- 二零二四年度区块链技术合作必威体育官网网址合同书3篇.docx
- 二零二四年度协议离婚房产分割细则合同3篇.docx
- 二零二四年度医疗器械销售企业廉政诚信与供应链管理合作协议3篇.docx
- 二零二四年度南京市租赁合同,附带租赁双方信息必威体育官网网址2篇.docx
- 2025年度高性能混凝土原材料采购合同3篇.docx
文档评论(0)