溶胶-凝胶法制备BST铁电薄膜的实验教学.pdfVIP

第5卷 第6期 实验科学与技术 ·125· 溶胶一凝胶法制备BST铁电薄膜的实验教学‘ 胡文成” ，董 东，侯高垒，沈怡东，何 为 (电子科技大学微电子与固体电子学院应用化学系。成都 61oo54) 摘要：详细介绍了物理化学创新实验一 溶胶一凝胶法制备钛酸锶钡(BST)铁电薄膜实验的实验原理、步骤，并采用XRD 和AFM对不同温度下的BST薄膜进行了表征。实验结果表明，将科研项目开设为创新实验，激发了学生对实验的兴趣、 培养学生的创新意识与综舍能力，物理化学实验教学的内容与方式也呈现领域、学科之间的融舍和综舍的趋势。 关 键 词：物理化学；创新实验；溶胶一凝胶法；铁电薄膜；创新意识 中圈分类号：G642·423；064 文献标识码：A 文章编号：1672—4550(2007)06—0125—05 Fabrication of BST Ferroelectric Thin Films by Sol·—-gel Method HU Wen—cheng，DONG Dong，HOU Gao一|ei，SHEN Yi—dong，HE Wei (School of Microclectronics and Solid—state Electronics，University of Electronic Science and Technology of China。Chengdu 610054。China) Abstract：111e experimental principle and processes of fabrication of BsT thin ferroelectric films by s01一gel method，an innovative experiment of physical chemistry．have been discussed in details．The BST thin films prepared under different temperatures have been charaeterized by XRD and AFM．The reSuh of the innovative experiment from scientific research project shows that this experiment stimulates the students to do experiments out of interests and arouses the students innovative consciousness and their comprehensive re． search abillties．It is also shown that the tendency in the crossover and comprehension between difierent disciplinea in the contents and the methods of experiment teaching has increased． Key words：physical chemistry；innovative experiment；s01一gel method；ferroelectric thin films；innovative consciousness 1 引 言 2 实验原理 实验教学是高等教育的重要组成部分，是抽象 溶胶一凝胶法是一种湿化学方法，其中的化学 思维与形象思维、传授知识与训练技能相结合的过 反应通常分为两步：(1)前驱体反应物的水解过 程，在人才培养中具有理论教学和其他教学环节不 程，形成羟基化合物；(2)羟基化合物的缩聚过 可替代的作用…。物理化学实验教学具有通过实 程。经过上述水解、缩聚后，得到透明且有一定黏 验巩固物理化学的基本知识和培养学生的综合实验 度的溶胶，此时可采用浸渍法或旋转法成膜。随着 素质和能力的作用 J。总结以前物理化学实