光刻间日常行为规范.PDF

光刻间日常行为规范 为加强光刻间工作管理，保持光刻间洁净度，特制定本规范，明确要求，规范行 为，提高工作效率与工作质量。 1、除光刻工艺相关工艺员外，其他人员遇工作需要方可进入光刻间，工作完成 后马上离开，禁止在光刻间逗留； 2 、光刻间内，禁止擦拭头、脸等部位，时刻保持防尘帽把头发全部遮住；不要 把外套暴露在洁净服外； 3、禁止在光刻间内更换口罩、手套；如有特殊需要，脱下手套后应减少在光刻 间停留时间，并且尽快戴上新手套； 4 、严禁将任何毛巾拿入光刻间，隔热、擦拭等需使用洁净布； 5、从冰箱中将胶取出或者将胶放置于冰箱内时，动作快而不乱；严禁在通风橱 外开启胶瓶； 6、若滴瓶里的胶过期或不用需倒掉的，要用洁净室专用的袋子把胶倒在里头放 在通风橱里，离开时带走； 7、涂胶严格按操作要求，若胶滴落在通风橱内需及时使用酒精棉花擦拭干净； 涂胶后若吸盘被胶沾污应及时清洗； 8、要在通风橱里按需倒入适量显影液，严禁浪费；要在专用的通风橱里显影； 9、涂胶后、显影后应立即更换一次性手套，严禁用未更换的一次性手套操作其 他设备；若使用非一次性丁晴手套或橡胶手套，请在丁晴手套或橡胶手套外加带 一次性手套，并且及时更换； 10、每日清理胶盆滤纸等工作需在通风橱内完成，垃圾置于通风橱内直至带出洁 净室； 11、光刻间桌面如产生物质颗粒需马上用清洁的湿润洁净布擦拭，每日工作完毕 后需用清洁的湿润洁净布擦拭； 12 、严禁在光刻间内剪纸、撕纸、揉纸或其他物品； 13、烘箱、热板的温度不可随便调节除非特殊情况并在用完后恢复原来的温度； 烘箱、热板要定期清洁； 14 、未经许可，不可擅动设备。