光散射粒子计数器校正的讨论.PDF

维普资讯 光散射粒子计数器校正的讨论 天津大学 刘傻杰，鲫斌 中国建筑科学研究院空气调节研究所 王君山 文 摘 通过对一种 光散 射式粒子计数器校 正方案的讨论 ，评述 了其相对 于现行 国 标的优 点，指 出其是一种 比较可靠和准确 的校正方案 。 关键词 光散射 式粒子计 数器 气溶胶 校 正 Abstract According to thediscussion ofa calibrationprocedureaboutthecalibrating airborne lightcsatterlr~ particle counter, htis paperpresents its advantagescompared to the currentnationalstandard．and pointsoutitisa mole reliable and precise method to calibrateparticlecountersthan others． Key words “ghtscattering particlecounter Aerosol Calibration 我 国对 于粒子计数 性 能 的校 正 ，BG6165．1— 1 前言 6167．2—85有一 定的规定 ，本文将根据 实际校正工作 各种 洁净厂房对 室 内的空气 洁净度有一个很 高 中的做法，对其 中一些问题进行讨 论 的要求 ，特 别是室 内的各种粒子浓度 。如在 电子 2 光散射式粒子计数器计数原理 通 讯设备生产厂 内，各种 芯片 、硅 片的集中化程 度 比较 高 ，即使 一十十分微 小 的粒子 落在 上面 ， 目前，国内外尘埃粒子计数器 ，是 以尘埃粒子在 也可造成 它们的短路 ．成为废 品 这将造 成 巨大 白光束或激光束中产生的光散射现象为原理 测试 区 的浪费。因此在这些地 方必须使用粒子计数器 ． 域内的空气经粒子计数器的采样吸气孔进^粒子计数 对 粒子 浓度 进行 监控 。对 于光散 射式 粒子 计 数器 ， 器 通过粒子计数器内部光源区= 由于其工作 原理 的特殊 性 ，一般 要求在 使用 一年 现在采用较多的方法是使用激光作为粒子计数器 后 必须进 行校 正。 光源来测量空气中悬浮颗粒 ，将一束 780纳米左右渡 实际检测工作中还发现 ，即使是校 正过 的不同厂 长的激光经过光学透镜组成以一定角度照射被采样空 家生产 的不 同型号 的粒子计数器 ．对 同一洁净 区域进 气，空气中微粒快速通过测量区时 ，把^射光散射形 行洁净度检测时 ，测量 结果相 差很大 ，甚 至超 过 成一个光脉冲信号，散射光脉冲经过光 电倍增 管的作 100％ 同一厂家生产的同一型号的多台粒子计数器进 用线性地转化为相应幅度的电脉冲信号 ，然后 以内置 行 比较测量 时．测量结果也要平均相差20％左右：这 的脉冲高度分析器电子线路来完成对各种规格 的电脉 一 问题 已经 引起 了广泛注意，直接影响 了洁净室 的环 冲幅度的计数工作 ，各种电脉冲的幅度就相应 于不 同 境评价结果 这一 问题 主要是由于 目前为止 国际上仍 的微粒太小，脉冲数量就是相应的微粒数 目 其工作 然投有被广泛接受 的统一的粒子计数器校正方法．各 原理见 图 l 十生产厂家有不同的校正程序 。 · 22 · 维普资讯 2001年薨2期