IC 线网图像的线目标提取.PDF

IC线网图像的线目标提取 营学光汪雪林彭思龙 中科院自动化所集成电路中心，100080 cao，xuelin Recn xueguang wang，silong．peng)@I】1ail．ia 摘要：在对集成电路(IC)线网图像的处理过程中，线目标的提取是一个重要的过程，它是 许多后续处理的基础。本文提出了～种基于高斯退化线结构模型的线目标提取算法。通过对 Ic线网图像的特点的研究，本文首先对线目标建立一个合适的结构模型，即两侧不对称方形 波高斯退化线结构模型。然后根据该模型，用Canny边缘检测算子检测出图像中的所有可能 的边缘点，从这些边缘点中确定出真实的边缘点，从两提取出线目标。最后，对由于集成电 路工艺或者成像过程不完善所造成的断线进行后处理，使得同～根线连在一起，而邻近的不 同的线保持分离。 关键词： Ic线网图像；线提取：Canny边缘算子；形态学 IC LineExtractionin Line-Net Image Cao Xue—Guang，WangXue—Lin，PengSi—Long NADEC，Institute ofAutomation，ChineseAcademyofSciences，Beijin9100080 {xueguang．cao，xuelin．wang，silongpeng}@mail．ia．ac．cn Abstract：In circuit(IC)line-net extractionis integrated image processing．1ine very becauseitisthebasesfor basedonGaussian important manycomingprocesses．Analgorithm line the in modelis toextractlinestheline—net do degraded proposed image．First，we researchIC and a on line—net characteristicsbuild image’S propermodel，i．e．theasymmetrical lines Gaussiankernel extracttheall bar—shapeddegradedby Second，we possibleedge points of thenwechoosethetrue for detector,and imageusingCannyedge edgepointsextracting thelines linesbecause thebroken oftechnicsand course objectsFinally,we process im