任东海-南京涉谷电子束技术.PDF

SEBP-A 系列电子枪电源说明书 南京涉谷电子束技术有限公司 2007年 2月 目录 1.安全性 1-1高压 1-2供电电源的安全防范 1-3连锁装置 1-4安全保护功能 2. 概述 2-1 电源特征 2-2 技术指标 3． 安装 3-1 检查附件 3-2 电源的内部连接 4． 功能描述 4-1 电源柜功能描述 4-2 控制箱功能描述 4-3 遥控盒功能描述 5．操作 5-1 灯丝退火 5-2 高压设置 5-3 束流设置 5-4 电子束扫描位置的调节 5-5 电子束扫描面积的调节 2 第一章 安全性 本电源可产生10千伏的直流电压，作为电子枪电子的加速电压。 在使用本系统电源前，首先必须保证已完全、彻底理解本手册的内容。 本公司不能也不会对那些没有遵守本手册上的警告而引起的事故负任何责 任。 1-1 高压 1-1-1在进行维护工作之前要关掉直流电源的总开关和主要开关,以防止电击。 本电源和其它设备连接时也要关闭本电源的总开关。 总电源开关 图1-1-1 SEBP系列电源柜图 1-1-2 在进行维护工作之前要用接地棒来接触高压电容终端和其它高压终端来 释放掉遗留在器件上的高压。 处理方法如下： 3 典型的接地棒如图1-1所 陶瓷电阻（100Ω/30W） 接地端（线径：1.25mm2） 金属钩 绝缘棒 图1-1-2 典型的接地棒(参考) 1-1-3连接到真空室的电子枪电源的接地端通常是零电位。如果这些连线在某些 地方接触不良，则可能在不良处产生高压。检查这些地线是否连接可靠，有无接 触不良或电线断路。 1-1-4