小型1000℃RTP 炉说明书.PDF

小型1000℃RTP 炉说明书 OTF-1200X 天津品创科技发展有限公司 产品简介 小型1000℃RTP 炉OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉，配有4″石英管和真空法兰，是 专为半导体或太阳能电池基片（最大3″ ）的退火而设计。本机采用10KW 红外灯管加热，最快升温速度 为50℃/s ，设有30 段温度控制，精度为±1℃。此外，通过RS485 口和控制软件可在计算机上实现实时控 制和温度曲线显示。 主要特点 1、石英样品架固定在滑动法兰上，使样品装载更加容易。 2、样品架上放置76mm 的AlN 基片，承载需要退火的样品。AIN 具有很高的热导率，可使样品放置的区域 有很 好的温度均匀性（±5℃）。 3、内插式热偶保证了温度的准确性。 4、采用PID 自动温度控制，30 段程序，并设有过热和断偶保护功能。 5、已通过CE 认证。 炉体结构 1、双层莫来石钢构（不带水冷或风冷） 2、内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 技术参数 产品型号 OTF-1200X-4-RTP 电源 单相AC208 - 240V,50/60Hz 最大功率 9 KW Max. ( 60A 保险) 炉体结构 双层莫来石钢构 石英管 外径Φ110mm，内径Φ103mm，长380mm 样品架 76mm 加热元件 8 根红外灯管，灯丝长200mm，丝圈Φ10mm，灯长300mm 恒温区 102mm×305mm，均匀性±5℃ 热偶 K 型热偶 温度 最高温度 1100℃，额定温度1000℃，在1000-1100℃下保温时间不得超过600s 控温精度 ±1℃ 最快升温速度 RT-800℃内50℃/s，800-1000℃内10℃/s 最快降温速度 60℃/min （在200mtorr 下），117℃/min （在一个大气压下） 真空度 50mtorr （机械泵），10torr （分子泵） 真空法兰 KF-D25，配有两个高温O 型圈密封 流量计 16-160ml/min 真空计 10mtorr-800torr 水冷 流速3L/min，水温20℃，水压25PSI 1 AIN 基片 1 片 2 石英样品架 1 个 3 石英管 1 根 标准配件 4 石英挡板 4 片 5 红外灯管 8 根