基于电子回旋共振！等离子体增强金属有机物化学气相.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 B’ ! #%%E ! ， ， ， /X7 :B’ 9X : ! _52M5T‘ #%%E （ ） !%%%(8#Y%]#%%E]B’ %! ]%B%E(%$ 6*36 ,;^A*6 A9A*6 #%%E *aG2 : ,a‘b : XP : 基于电子回旋共振 等离子体增强金属有机物化学气相 ! 沉积技术生长#$% 稀磁半导体的研究! ） ） ） ） ） ） ! ! # ! ! ! 王叶安 秦福文 吴东江 吴爱民 徐 茵 顾 彪 !）（大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连 !!$%# ） # ）（大连理工大学机械工程学院，大连 !!$%# ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） #%%$ !# ! #%%’ $ ! 利用电子回旋共振 等离子体增强金属有机物化学气相沉积 （ ）方法，采用二茂锰（ ）作为 ( )*+(,)-.*/0 *1 -2 # 源，高纯氮气作为氮源，三乙基镓（ ）作为 源，在蓝宝石 （ ）（ ）衬底上外延生长 稀磁半 -2 3)45 45 (67 . %%%! 45-29 ! # 8 导体薄膜 反射高能电子衍射（ ）、射线衍射（ ）、原子力显微镜（ ）表征了 薄膜的晶体结构和 : +;))0 +0 6=- 45-29 表面形貌 薄膜均表现出良好的（ ）择优取向，表明制备的薄膜倾向于 轴方向生长，薄膜保持很好的纤 : 45-29 %%%# ! 锌矿结构 表面形貌是由许多亚微米量级的晶粒按一致的取向规则堆砌而成的 超导量子干涉仪（ ）用来表征 : : ?@A0 薄膜的磁性: ?@A0 分析表明，薄膜呈铁磁性，铁磁性仅可能来源于三元相 45-29，薄膜的居里温度高于8B% C : 而 且，高-2 的含量可以提高薄膜的居里温度: 关键词： 薄膜，稀磁半导体，铁磁性，居里温度