薄膜的蒸发沉积原理与技术.ppt

4 膜层厚度控制与均匀性 4.3 改善膜层厚度的均匀性 DINGQUAN LIU SITP - CAS (4) 控制好温度 温度影响凝结系数，影响沉积速率和分布，影响膜厚分布。 必要时可以用导热好的铜夹具。 避免将沉积温度选在材料凝结系数巨变的区域。 4 膜层厚度控制与均匀性 4.3 改善膜层厚度的均匀性 DINGQUAN LIU SITP - CAS (4) 避免定向蒸发 温升华的块状料，与蒸发舟接触的部分出现升华，蒸发气流沿空隙射出，分布不均匀。 应尽量使膜料块体不要太大，均匀分布。 4 膜层厚度控制与均匀性 4.3 改善膜层厚度的均匀性 DINGQUAN LIU SITP - CAS (5) 采取综合措施 多管其下后，膜层厚度的分布应该能够得到极大的改善。 光学薄膜（特别是滤光片）对厚度控制非常严格。修正后，能够取得很好的效果。 5 热蒸发薄膜的一些应用 5.1 光学薄膜 DINGQUAN LIU SITP - CAS (1) 光学增透 眼镜、镜头等表面都需要增透膜，减少反射。在光学成像系统中可以避免出现“鬼像”。 5 热蒸发薄膜的一些应用 5.1 光学薄膜 DINGQUAN LIU SITP - CAS (2) 滤光片 对光谱进行选择，以识别真正的目标。如光通信、光谱成像仪器中广泛使用。 通常需要几十、甚至100多层膜，厚度控制要十分精确。 5 热蒸发薄膜的一些应用 5.1 光学薄膜 DINGQUAN LIU SITP - CAS (3) 反射膜 反射膜在生活中十分常用，可以把光和热发射出去。 在装饰方面也不可缺少。 5 热蒸发薄膜的一些应用 5.2 节能薄膜 DINGQUAN LIU SITP - CAS (1) 建筑玻璃上的节能薄膜 可以保持住冬天室内的温暖。 可以拒绝夏日外面的炎热。 5 热蒸发薄膜的一些应用 5.3 安全、医学领域 DINGQUAN LIU SITP - CAS 长波红外探测人体温度。 可用于安全防护、医学等方面。 5 热蒸发薄膜的一些应用 5.4 环保与气体分析 DINGQUAN LIU SITP - CAS 利用薄膜获取特定气体的光谱，可判定气体浓度和污染情况。 可用于天气预报。 5 热蒸发薄膜的一些应用 5.5 光伏产业 DINGQUAN LIU SITP - CAS 利用薄膜实现太阳能发电。 在半导体照明方面也应用广泛。 5 热蒸发薄膜的一些应用 5.6 空间应用 DINGQUAN LIU SITP - CAS 天气预报。 空间遥感。 6 结束语 DINGQUAN LIU SITP - CAS 热蒸发技术今后仍然是薄膜制备的主流技术之一。 要取得膜层厚度均匀的分布，主要采取合理布局、修正板调节、温度均匀控制、减少定向蒸发、选择合适沉积温度等措施。 文献引用与致谢 DINGQUAN LIU SITP - CAS 1 田民波 刘德令，“薄膜科学与技术手册”。 2 唐晋发 顾培夫 刘旭 李海峰，“现代光学薄膜技术”。 3 吕立冬 李新南 《真空》，“LAMOST 子镜真空镀铝系统中的多点 蒸发源建模分析” 。 4 林坚 林永钟 廖群峰，《光子学报》，“光学薄膜厚度修正档 板的设计”。 还引用了部分不明作者的图，在此一并感谢！ dqliu@mial.sitp.ac.cn 上海技术物理研究所 光学薄膜与材料研究室 真空中的薄膜热蒸发沉积---原理、技术、厚度控制 刘定权 编写 2010年12月18日 上海 主要内容 1. 关于薄膜的一些基本概念 2. 材料在真空中的热蒸发 薄膜在真空中的沉积生长 膜层厚度控制与均匀性 热蒸发薄膜的一些应用 SITP - CAS DINGQUAN LIU 1 关于薄膜的一些基本概念 不同的用途有不同的概念: (1) 光学的人讲, 能够产生干涉的薄层; (2) 电子学认为, 厚度不能超过1μm; (3) 物理