中等口径光斑激光预处理-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２５ １２ Ｖｏｌ．２５ Ｎｏ．１２ 　 　 年 月 ， ２０１３ １２ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｄｅｃ． ２０１３ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１３１２３１８００５ 　 中等口径光斑激光预处理 郑 轶， 刘志超， 马 平， 陈松林， 张清华 　 　 　 　 　 　 （成都精密光学工程研究中心，成都 ６１００４１） 摘 要： 介绍了一种基于中等口径光斑的新型激光预处理技术。采用基频最大输出 的 ： 调 １０Ｊ ＮｄＹＡＧ 　　 　 　 Ｑ激光器，获得了直径 ５ｍｍ、能量密度满足预处理需求的中等口径光斑。较之于小光斑处理方案，采用中等 光斑进行扫描，可以显著压缩大口径光学元件的预处理总耗时。为了验证效果，搭建了实验平台，在陪镀片上 开展了光斑扫描与损伤阈值测量实验，设计了合理的中等光斑预处理流程，并对阈值提升效果进行了验证。在 此基础上，开展了正式元件的预处理实验，采用大行程二维电动位移台，对 ４３０ｍｍ×４３０ｍｍ口径的金属铪蒸 发工艺高反膜元件进行了夹持和扫描。实验结果表明，经处理后的高反薄膜元件初步达到了 ２ ／ 的阈值 ２７Ｊｃｍ 水平，证明了该技术对薄膜抗损伤能力的提升效果。 关键词： 光学薄膜； 中等口径光斑； 激光损伤； 激光预处理 　　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＮ２４９ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ３１８０ 　　 　 　　　　 　 　　 高功率激光驱动器的建设对镀膜元件的激光负载能力提出了很高的要求。目前，薄膜损伤阈值的限制，已 　　 成为提升激光功率的一个主要瓶颈。在充分优化薄膜制备条件和工艺基础之上，为了进一步提高元件的抗损 ［ ］ 伤能力，激光预处理技术 １３ 得到了发展：采用较低通量的激光束（较之于元件的损伤阈值），对膜面进行辐照， ［］ ４ 可以有效提高其抗损伤能力。损伤阈值的提升甚至能达到 ２ ３倍 。激光预处理技术的机理仍处于探索阶 ～ ［］