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微机电系统简介
交大機械徐文祥
微機電系統簡介
交通大學機械系
徐文祥
whsu@.tw
1
交大機械徐文祥
微雕
橄欖核舟
-台北故宮博物院清陳祖章
.tw/
2
交大機械徐文祥
0.08cm 迷你書
俄國迷你書收藏家科斯楚
克手持夾子，小心翼翼夾
起一頁比原子筆筆尖還小
的書頁。這本迷你書書名
為「俄文字母」，長寬皆
為0.08公分，共8頁，每頁
記載 8個俄文字母。
台北國際書展2007/1/31
3
交大機械徐文祥
毫芒雕刻家陳逢顯- 作品
2008/07/16
4
交大機械徐文祥
微機電系統
MEMS
Micro Electro Mechanical Systems
(1 mm ＝10-6 m)
5
交大機械徐文祥
Feynman’s Challenge
(a) Feynman viewing the the first micro motor built by William
McLellan (left).
(b) The mini motor photographed under an optical microscope.
(Picture credit: Caltech Archives)
6
交大機械徐文祥
歷史的演進
Transistor by Bell Lab 1947
Integrated circuit by Kilby 1958
Mini motor by McLellan 1960
Silicon membrane 1966
Silicon pressure transducer 1973
Micro mirror
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