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國家中山科學研究院 「公開徵求廠商提供參考資料、商情訪價資料」公告申請表 案號 1056706506 / XV05100 碳化矽晶圓 聯絡人 陳學儀 電話 (03)471-2201 分機358622 電子郵遞信箱 傳真電話 申請事項 公開徵求廠商提供 ▉參考資料 ▉商情報價 (得複選) 提供公開閱覽 □是 ▉否 (勾“否”者免加註閱覽「地點及時間」) 公開閱覽地點 □本院五號門開標中心 □ (其他地點請加註) 公開閱覽時間 本院上班日□上午0830至下午1630□ (其他時間請加註) 公開徵求廠商提供參考資料或商情訪價說明---限填1000個中文字 採購內容摘要： 一、主要規格(功能)： (一).碳化矽晶圓1.晶態：4H-SiC、N-type。 2.直徑：150mm±2mm。 3.厚度：500um±25um。 4. on-axis。 5. Dummy Grade。 6. MPD＜100/cm^2。 7. TTV≦20μm。 8. Warp≦60μm。 9.雙面(C-face and Si-face)拋光。 10.C-face CMP epi ready。 11.主平邊方向定位：＜11-20±5.0度。(二).低缺陷碳化矽晶圓1.晶態：4H-SiC、N-type。 2.直徑：150mm±0.25mm。 3.厚度：500um±25um。 4.C軸方向：4.0? toward ＜11-20 ± 0.5?。 5. MPD＜5/cm^2。 6. TTV≦20μm。 7. Warp≦60μm。 8.雙面(C-face and Si-face)拋光。 9.Si-face CMP。 10.主平邊方向定位：＜11-20±5.0度。 二、數量： 1.碳化矽晶圓5片、2.低缺陷碳化矽晶圓90片。 三、交貨期限： 簽約後60天。 四、其他：廠牌Cree Inc.(或同等品) ■附記說明： 廠商如提供本案之相關規格、功能、價格等參考資料，經本院接受者，該廠商經本單位評估可行後，將列為本院邀請參與本標案對象之一。請相關廠商踴躍提供參考資料及報價。 需求單位承辦人 主計畫單位 保防單位 單位主管 （倘具機敏性須先加會計畫單位） ※本表由需求單位主管核批後，電子檔由內網檢疫交換至外網電腦，傳輸刊登本院(民網)採購資訊公告網，如涉及機密，應依相關必威体育官网网址實施規定，不得傳輸刊登公告。 ※各單位填表時，應先考慮是否有洩密之虞，並惠請保防單位審查，倘需求內容係屬需搭配資訊防護性措施，須呈單位一級主管核可；需求內容屬可公開性資訊，僅呈單位二級主管核可。如不慎發生洩密情形，由需求單位負全責。 ※本表奉核原件併於需求計畫送申購單位編訂採購計畫及審核。 (105.02.02奉核修正)