Smarc干涉仪使用说明书 - 南京英特飞光电技术有限公司.DOC

Smarc-Ⅱ-D干涉仪 使 用 说 明 书 南京英特飞光电技术有限公司  目 录 一、干涉仪安装与环境条件要求………………………………… （2） 二、仪器简介……………………………………………………… （2） 三、仪器主要技术指标…………………………………………… （4） 四、仪器主要用途………………………………………………… （4） 五、标准透镜选取原则…………………………………………… （4） 六、仪器使用前调校……………………………………………… （6） 七、仪器操作使用………………………………………………… （6） 八、Smarc通用工装夹具………………………………………… （8） 九、测试结果分析………………………………………………… （8） 十、常见故障排除………………………………………………… （8） 十一、注意事项…………………………………………………… （9） Smarc-Ⅱ-D干涉仪为立式倒置（标准镜头下置）干涉仪，操作简便，适合于在加工现场使用。 一、干涉仪安装与环境条件要求 1．Smarc-Ⅱ-D干涉仪开箱检查 包装箱内应包括：干涉仪主机、显示器、12V电源、视频线、镜头盖和激光挡板及Z轴粗微调扳手。标准镜头选配件另在装箱单上另行列明。 2．干涉仪接线连接 以视频线连接Smarc干涉仪主机和显示器，主机接通电源。Smarc-Ⅱ-D干涉仪主机上有红色激光射出。 3．干涉仪对环境条件要求 Smarc-Ⅱ-D干涉仪应该安放在平整、稳定的桌面上，周围无大的振动源。在测量使用时，室内应处于恒温状态下，室内恒温应保持20℃±3℃，温度梯度≯1℃/h；相对湿度≯60%。 警告：激光危险，禁止用眼睛直接观察 二、仪器简介 1．仪器特点 整机结构紧凑、体积小、操作简单。由于仪器采用切换按钮转换对点状态和测试状态，使得仪器在测量时易于调整，即使对干涉仪不甚熟悉的人员，亦可以很快调整出干涉图形。 2．仪器全貌图 仪器全貌图见图1。 图1 仪器全貌 3．仪器主机结构 仪器主机结构见图2。 正面 背面 图2 仪器结构 三、仪器主要技术指标 1．仪器口径：φ25.4mm 2．仪器光源：λ=635nm半导体激光器 3．仪器精度：λ/20（平面），λ/10（球面） 4．导轨移动长度：130mm 5．外形尺寸：230（长）×265（宽）×430（高）mm 6．光路切换：调整（十字叉丝）与测试（干涉图）之间为电控切换 7．仪器重量：约7.5Kg 8．供电电源：AC220V 50Hz 9．标准配件：9寸高分辨率黑白显示器 10．供选配件：平面测试用二维调整台 11．标准镜头（用户选配件）： （1）标准平面镜（λ/20）：Φ35mm（同时另须配平面调整架） （2）标准镜头（λ/10）：F0.7、F1.0、F1.5、F2.0、F3.0、F5.0 12．螺纹接口：M49×0.75 四、仪器主要用途 1．检测平面零件面形误差和局部误差 将标准平面镜装入仪器上后，可对平面零件面形误差和局部误差进行检测。 2．检测球面零件面性误差和局部误差 装入不同F数的标准镜头，可测量不同曲率半径和口径的球面零件的面形局部误差。当采用与被测球面参数相同，高质量面形误差的标准球面作参照比对时，可测量球面零件的面形误差。 五、标准透镜选取原则 1．仪器标准镜头配置 Smarc-Ⅱ-D干涉仪配置了六个不同F数的标准镜头供选配，见表1。 表1 标准镜头选配表 标 准 镜 头 参 数 可 测 量 球 面 参 数 (mm) 最大曲率半径（r） 最大有效口径（d） F数 R0 （mm） D0 （mm） 凹 凸 凹 凸 0.7 9.367 12.2 110 8 1.3r 10 1.0 17.638 16.6 102 15 0.9r 14 1.5 30 19.5 90 28 0.6r 17 2.0 40