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聚轻基苯乙烯在光致抗蚀剂中的应用及其合成-影像科学与光化学
光 学 与 光 化 学
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华中科技大学 化学系 湖北 武汉
乙
要 主 综 了 舟 苯 用 深 致 剂主 成 脂的
摘 要 述 聚 基 烯 作 紫外光 抗 体 膜树 发展
历 、 应用 以 一些 新 的 究 , 简 绍 了 舟 苯 乙 的
程 现状 及 最 研 进展 并 要介 聚 基 烯 单体
生物 物的制 方法
衍 及其聚合 备
乙
在 苯 深 光致 剂 主 成 脂
关 健 词 聚 基 烯 紫外 杭 体 膜树
一 一 一
文 编号 图 文 识码
章 中 分类号 汤 献标
引言
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