718μm 二级分布反馈量子级联激光器3 - Journal of Semiconductors.PDFVIP

第 26 卷 　第 3 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 26 　No . 3 2005 年 3 月 　　 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S 　　Mar . ,2005 μ 78 m 二级分布反馈量子级联激光器 郭 　瑜 　刘峰奇 　刘俊岐 　路秀真 　王占国 ( 中国科学院半导体研究所 材料科学重点实验室 , 北京 　100083) 摘要 : 报道了基于应变补偿的 In P 基 In053 + x Ga047 - x A s/ In052 - y Al048 + y A s 分布反馈量子级联激光器. 采用二级光 μ 栅作为反馈 ,激射工作波长为 7 8 m ,在 1 % 占空比 ,5k Hz 频率的工作条件下 ,在 93～173 K 的温度范围内,单模发 λ 射光谱边模抑制比均超过 20dB ,调谐系数 d / d T = 05 125nm/ K. 在 93 K 时 ,峰值功率为 30mW ,直到 153 K 时 ,峰 值光功率仍达到 12mW . 关键词 : 量子级联激光器 ; 分布反馈 ; 分子束外延 ; 应变补偿 PACC : 6855 ; 4255P 　　　EEACC : 4320J ; 2520D 中图分类号 : TN 365 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 02534 177 (2005) 1 　引言 2 　实验 [ 1 ] 激光器材料是利用 EP I Gen Ⅱ固源分子束外 量子级联激光器 是一种新型单极性半导体激 光器 ,与常规半导体激光器不同 ,它是利用量子限制 延系统在 n 型 In P 衬底上生长. 先生长下波导层 ( 16 - 3 μ ) 效应引起的导带中分立子能带之间的电子从高能态 In053 Ga047 A s , Si , 8 ×10 cm , 厚度 04 m , 向低能态跃迁发光. 量子级联激光器的激射波长是 接着 是 35 个 周 期 的 In0 . 53 + x Ga0 . 47 - x A s/ In0 . 52 - y ( μ ) 由导带中分立子能级之间的位置决定 ,并可以采用 Al0 . 48 + y A s 有源层 厚度 228 m ,再跟着是更厚的 ( 16 - 3 “能带工程”来设计所需要的激射波长 ,采用分子束 上波导层 In0 . 53 Ga0 . 47 A s , Si , 8 ×10 cm , 厚度 μ )