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L103-8006物理系陆大安规格表 - 国立中央大学
一、採購標的
1、中文名稱：高真空電子束蒸鍍系統數量一組 採購案號：L103-R8006
英文名稱：high-vacuum electron-beam evaporation system數量一組
2、規格需求（詳如：附件一）。
3、本案有採購財物或勞務單項明細(如附件二：單項明細表)。
二、本採購預算金額：新台幣 1,800,000 元。
三、擬決標幣別：ˇ新台幣
四、履約期限：ˇ機關開立信用狀當日起 45 個日曆天內完成交貨並需安裝測試。
五、履約金及保固金六、3、貨到驗收合格後天內付款或電匯付款
請購單位： 中央大學物理系 請購人： 陸老師 聯絡人： 楊小姐聯絡電話：03-4227151 ext 65338
請購單位聯絡人E-mail： sweet@ncu.edu.tw
接續頁
規格需求
附件一
採購案號：L103-R8006
一、購案名稱： 高真空電子束蒸鍍系統 數量及單位： 一組
二、採購規格內容與功能需求如下：
（一）規格內容
配合本校能源政策，儀器設備及零配件優先考慮採購節能減碳產品。
1、electron-beam source
?270° electron-beam deflection with hidden filament and sweeping capability (隱藏式電子源、電子束偏折達270度並具掃描功能)
?six 7cc-pockets with rotation drive (承載六個7cc可旋轉替換坩鍋)
?6 kW power supply for electron-beam (電子束電源供應器最高輸出功率達6 kW)
?shutter above electron-beam source (電子束蒸鍍源上方具旋轉檔板遮片)
2、chamber (真空蒸鍍腔體)
?made of polished stainless steel (不銹鋼腔體、內外電解拋光)
?door for loading samples and exchanging evaporation materials (附門以方便更換樣品與蒸鍍源)
?view port to see both electron-beam source and sample holder (附視窗、可由腔體外目視蒸鍍源與樣品)
?pneumatic gate valve for turbo pumping (含高真空氣動閥門用於渦輪幫浦抽氣)
?ports and valves for roughing, fore-pumping and venting (含粗抽閥、前級閥與洩氣閥)
?water cooling lines for electron-beam source (含電子束蒸鍍源冷卻水管路)
?three gas lines to chamber, one equipped with needle valve (含一對三氣體管路、其中一支須加針狀閥)
?three 4.5” and one 2.75” capped spare CF-flanges (含三個4.5吋、一個2.75吋備用CF法蘭)
3、?with turbo pumping (含高真空幫?integration of existing scroll pump (Agilent Varian TriScroll 300) to the system (整合請購人既有的Agilent Varian TriScroll 300至蒸鍍系統)
?reach 6 × 10-6 torr within 30-minute pumping (抽氣30分鐘內到達低於6 × 10-6 torr的工作壓力)
?base pressure lower than 6 × 10-7 torr within 16-hour pumping (16小時抽氣後到達低於6 × 10-7 torr的終極壓力)
4、sample holder
?able to mount one 4-inch wafer/diced chips (可承接4吋晶片一片或破片)
?able to tilt ±180° (基座可傾斜±180°)
?water cooling line included (基座含冷卻水管路)
5、gauge and controller (真空計與控制器)
?r
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