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SiGe OI微环谐振器的滤波特性分析 - 西安理工大学学报
西安理工大学学报 ’ ( )
JournalofXianUniversitofTechnolo 2016 Vol.32No.4 443
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: /
DOI10.19322 .cnki.issn.10064710.2016.04.012
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SiGeOI微环谐振器的滤波特性分析
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12 12
冯 松 ,高 勇
( , ; , )
1.西安工程大学 理学院 陕西 西安 710048 2.西安理工大学 自动化与信息工程学院 陕西 西安 710048
: 。
摘要 SiGeOI微环谐振器是一种新型半导体材料的谐振器 本文根据传输矩阵法得到微环谐振
, 、 ,
器的传递函数 研究了上下载滤波器和上 下载端口的性能 分析了SiGeOI微环谐振器的滤波特
, 。 ,
性 以及耦合特性对滤波特性的影响 通过模拟软件建立SiGeOI微环谐振器模型 主要对其结构
、 、 , 、 、
参数 耦合系数 3dB带宽和消光比等参数进行了分析 仿真了波导宽度 耦合间距 波长与耦合系
, 。
数的关系 以及耦合系数对3dB带宽和消光比的影响 最终给出了耦合系数的范围以及不同耦合
, 。
系数下的滤波特性 为SiGeOI微环谐振器的研究提供了理论参考
: ; ; ;
关键词 绝缘层上锗硅 微环谐振器 滤波特性 耦合系数
中图分类号: 文献标志码: 文章编号: ( )
TN252 A 10064710201604044306
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FENGSong ,GAOYong
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1.SchoolofSciences XianPoltechnicUniversit Xian710048 China
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