中科院青岛能源所原子层沉积设备招标文件 - 中国科学院青岛生物 .DOCVIP

中科院青岛能源所原子层沉积设备招标文件 （单位内部招标） 一、说明 1、本部分内容是根据招标项目的实际情况制定的。 2、投标人必须仔细阅读本招标文件的全部条文。对于招标文件中存在的任何含糊、遗漏、相互矛盾之处，或是对于招标范围的界定和招标内容的要求不清楚，认为存在歧视、限制的情况，投标人应向招标人寻求书面澄清。 3、本技术部分如果涉及到品牌、型号等，并不表明该标的被指定，而是仅供投标人参考，投标人所投报的货物只要性能、质量达到或超过都将被视为对招标文件作出了实质性的响应。 4．招标完毕，招标人根据需要可能进行货物内容的增加或减少，或者分批签定合同，但合同总额浮动范围不超过投标额的（+/-）10%。 5、招标方将采用综合打分法进行评标。评审因素包括：评标价格、产品质量性能、企业资质和产品销售业绩、售后服务及交货时间。 其中价格分统一采用低价优先法计算，即满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，其价格分为满分。其他投标人的价格分统一按照下列公式计算：投标报价得分=（评标基准价/投标报价）x 40； 6、投标人应提供投标产品的详细技术资料，和企业简介、资质和荣誉等材料等。 7、招标程序： 1）投标方提交投标文件（密封，正本一套；副本四套） 2）所内专家评标 3）根据招标结果向中标人发送中标通知书 8、招标方认定招标过程存在恶意围标或其他影响招标顺利进行的行为时有权废标重招。 9、具体打分标准 注：*表示关键性指标，＃表示重要性指标 投标人 制造商 招标文件要求 分值 得分 一、技术性能 满分25分 品质优良（全部“#”号指标符合要求） 21-25分 品质良好（部分“#”号指标符合要求） 16-20分 基本合格 15分 带*条款负偏离 废标 没有原厂服务 废标 二、加分部分 满分20分 1、对于已通过ISO9000认证的产品，对此投标人应提供相应成名文件复印件 0-2分 2、是否提供所有产品的原厂服务，并有原厂的书面承诺 0-2分 3、除以上基本指标外，具有特殊功能，并经买方确认满足实际需求的每项加1分，最多4分 0-4分 4、买方确认关键性指标或配置优于标准项目，每项可加1分，最多4分 0-4分 5、设备技术水平、工程应用情况 0-4分 6、针对甲方工艺要求，详细提出技术方案 0-4分 三、企业资质和产品销售业绩、售后服务及交货时间 满分10分 符合招标文件要求，核心元件质保2年（提供备件附清单）（增加1年，加2分，4分满分） 0-4分 交货验收时间（90天内），少于60天2分 1-2分 售后服务方案 0-4分 四、企业综合情况 满分5分 五、价格分 40分 总计 满分100分 二、技术要求 货物名称、数量及要求： 名称： 货物数量：1套 设备描述：原子层沉积设备可用于对现有微纳米材料进行表面包覆改性，也适应于开发新型功能纳米材料和薄膜材料，制备的薄膜具有非常好的厚度可控性和均匀性、保型性、无针孔度以及致密性，可广泛应用于新型能源、储能和催化等研究。 2.1 技术 (1) 基片尺寸：4英寸（100 mm）以上； (2) 加热温度：室温~400oC，精度:±1°C； (3) 成膜厚度均匀性： +/- 1%（100 nm厚Al2O3为参考）； (4) 前体源：至少4路源，每路源采用单独的、质量可靠的高速脉冲阀门控制； 其中含1路O2/O3气体管路系统，其它3路源可加热至150℃，温度可控在±1℃，并且升温速度可控； (5) 所有源管路采用金属VCR接口。 (6) 载气流量为高精度流量计控制，连接每路前驱体源管路； (7) 真空系统：配备真空泵，无载气时本底真空0.1 mbar，具有不小于4L/s的抽速，达到快速吹扫的要求； (8) 控制程序具有集成整合界面，能在同一界面中实现对沉积参数、沉积循环次数、温度、载气流量等方便的进行控制。 (9) 沉积程序应方便选取前体管路，以实现复合物、多层交替膜的沉积。 (10) 控制程序具有对温度、工作压力等参数的实时检测功能，具有可靠的保护功能，以防止CVD反应而污染设备。 (11) 控制程序应具有一定的记录功能，以实现对沉积过程的跟踪，方便查找故障。 (12) 设备交付时，投标方需向用户提供设备操作、维护手册，设备组成、原理图。 主要设备配置清单如下： 系统 部件名称 单位 数量 反应腔系统 1、规格： 1 前体源输送系统 规格：Swagelok品牌 套 4 气动控制系统 1、规格： 温控系统 规格：高精度温控系统 类别：国内/国际知名品牌 套 1 质量流量控制器 规格：高精度、采用数字显示 类别：国内/国际知名品牌 套 1 控制硬件及软件 预装Windows操作系