关键词摘要组装作动原理与应用 - 机械工业杂志.PDFVIP

than 1 mm are not easy to operate by humans. So we must 關鍵詞 use microscopy to examine patterned assembly or ‧自組裝 self-assembly self-assembly of object-itself for made up of component. ‧操控 manipulation For micro components assembly and fabrication of devices the accuracy in positioning is important to determine the 摘要 success of assembly. 最近幾年來對於微奈米之研究越來越多，微奈 組裝作動原理與應用 米操控的研究，微奈米作業既是對微小工作對象之 整體或某部分進行操作與組裝。對於小於1mm 之物 在微結構組裝方面大致可分為序列式組裝和平 體，由於幾何尺度匹配限制，人類眼睛與手已不易 行式組裝兩大部分，在序列式組裝方面意指元件一 直接進行作業，一般必須借助顯微鏡與工具等儀器 個個的按照次序進行組裝，此觀念主要是來自於巨 才能進行物件之操作與組裝或是利用物體間的「自 觀世界裡的組裝方式，只是在微觀尺寸下元件與機 組裝」來完成元件之裝配。當微作業之需求為微型 才都所小了，相對的也把組裝時用到之挾持裝置所 機器元件之組裝以及加工製造過程中物件的握持、 小並使用微機電製程將它製作出，並改變其驅動控 輸送、裝卸及對位等微細操作，微組裝作業的成敗 制方式，例如使用壓電、靜電、纖毛運動及振動個 與否往往與組裝方式及精確對位有密切關係。 別或是以上的組合方式，來驅動微夾具結構對於元 It is recognized that the increasing in micro or nano 件進行挾持動作，到所要放置之目的地位置以達成 manipulation development in recent year. Only the bulk or 微組裝目的，主要工作方式大致不變，此方式的優 parts of mini object are used to be manipulated and 點是適用材料範圍廣泛幾乎不受限制、定位精準、 assembled in micro or nano scale. Due to limitation of 只要控制得宜可以進行複雜組裝、材料表面不須經 geometry dimension, the objects with dimensions of less 特殊處理。另外，因為它是一個個的元件依序組裝， 所以當有組裝錯誤時馬上可以發現並停止