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工具機技術專輯 本研究期望藉由機台聲紋檢測所獲得時域頻譜 關鍵詞 中，具有顯著變化區域之特徵值作為檢驗機台狀態 之依據。此種方式較諸於振動頻譜分析，更具創新 〃線性滑軌 Linear guide 性，在實務應用上則更具方便性。基於此概念，本 〃聲紋震動分析 Vibration-acoustic analysis 研究將結合電腦輔助工程分析與聲 紋量測實驗，探 〃黃鍔法 Hilbet-Hung transform(HHT) 討線性滑軌異常狀態導致平台振動聲紋特性變化之 力學意義。研究結果顯示，線性滑軌之預壓力等級 之不同或不均勻以及珠槽內部鋼珠缺損情況下，確 摘要 實會影響定位平台運動中的聲紋特性。鋼珠缺損時 將降低線軌接觸剛性，導致機台振動聲紋頻率降 低，此顯示藉由聲紋 特徵分析可以檢測機台中線軌 振動分析法是藉由機器在正常運轉與異常狀態 狀態變化。應用此種特性，即可藉由振動實驗檢測 下引發振動的變化，找出故障的振動特性。因此， 廣泛應用於故障、過度磨損或結構損壞等的預測 機台內部元件是否發生異常，並提供作為設計檢驗 的依據。 上。但是，振動頻譜所呈現的是整體機台振動情況， 當偵測點移動或改變時，所量得之振動訊號亦隨之 The vibration analysis method has been widely 改變。諸如工具機之定位機構包含甚多線性傳動元 used to detect the faults of the components of a 件，各組件具有獨自振動特性，但是結合後會產生 machine. For a positioning stage, its vibration 偶合振動型態。因此，不容易由單一振動頻譜圖中 characteristic is close related to the liner guide preload. 判斷產生異常狀態之來源。 With the attempt to clarify the meanings of the │ │2010.03 │73 工具機技術專輯 vibration signal coming out from an abnormal machine, 量RMS 值(均方根)當做出廠前檢測基準，但此項檢 this study was aimed at investigating the influence of a 測只能判斷軸承的品質是的良好與否，並無法判斷 fault linear guide on the vibration and acoustic 是何種問題造成其不良震動，不良的原因有可能是 characteristics of a positioning stage through the use of 組裝的差異性、機械過熱、主軸的公差、油值過高(結 acoustic characteristics analysis.