利用有机2无机溶胶2凝胶方法制备平面波导环形谐振腔.PDFVIP

第 33 卷 　第 5 期 中　 国 　激 　光 Vol . 33 , No . 5 　 2006 年 5 月 C H IN ESE J OU RN AL O F L A SER S May , 2006 　 　　文章编号 :(2006) 05059 105 利用有机无机溶胶凝胶方法制备 平面波导环形谐振腔 庞拂飞 , 韩秀友 , 蔡海文 , 瞿荣辉 , 方祖捷 ( 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海 20 1800) 摘要 　采用简单的有机无机混合的溶胶凝胶方法制备了折射率在一定范围内可调的波导材料 ,并利用其制备了 ( ) 平面波导环形谐振腔器件 。波导结构呈现倒脊形 ,其制备工艺首先是利用感应耦合等离子体刻蚀技术 ICP 在二 氧化硅衬底上刻蚀波导结构的凹槽 ,然后再沉积波导薄膜 。利用光谱仪对器件的传输特性进行了测量 ,观测到具 有 10 dB 对比度 , 自由光谱范围0 . 182 nm周期性谐振现象 ,结合环形谐振腔的传输特性 ,得到环形腔具有较低的传 输损耗 17 dB/ cm 。同时对环形谐振腔的温度特性进行了测量 ,得出波导材料的热光系数为 - 1. 54 ×10 - 4 / ℃。 关键词 　集成光学 ;环形谐振腔 ;溶胶凝胶 ;热光系数 中图分类号 　TN 252 　　　文献标识码 　A An Integrated Optical Waveguide Ring Resonator by Using SolGel Technology PAN G Fufei , HAN Xiuyou , CA I Haiwen , QU Ron ghui , FAN G Zuj ie ( ) S hang hai I ns t i t ute of Op tics an d F i ne M echanics , The Chi nese A ca demy of S ciences , S hang hai 20 1800 , Chi na Abstract 　An or ganicinor ganic hybrid waveguide mat erial was synt hesized by u sing simp le solgel met hod . An int egrat ed ring resonator wa s fabricat ed a s follow s. Grooves wit h t he designed waveguide p att ern were etched into t he SiO2 layer on t he Si sub st rat e by u sing inductively coupled p lasma ( ICP) , and sub sequently t he solgel mat erial wa s coat ed on t he