垂直镜筒设计双束FIB NX9000.PDFVIP

Application 垂直镜筒设计双束 FIB NX9000 最近日立新推出了垂直镜筒设计的双束 FIB 系统 NX9000 ，突破了以往双束FIB 结构的限制。 对传统双束 FIB 来说，SEM 镜筒和 FIB 镜筒之间的角度通常为 50 多度，是“V 型”结构，这 种结构可以加工样品表面任何位置，通用型比较强，但存在固有的缺陷，即在 SEM 成像时图像有 形变，而且做一系列 SEM 成像时，样品中心点位置会逐渐偏移。而对垂直镜筒设计的双束 FIB 系 统 NX9000 来说，在 SEM 成像时图像没有形变，是最真实可信的数据，在整个加工过程中样品中 心点位置也不会有任何偏移，这种结构设计被称为“L 型”。 图 1. 传统“V 型”和新型“L 型”双束 FIB 设计区别。 图2. 小白鼠脑神经细胞用“V 型”FIB 的加工效果 图2 左图是小白鼠脑神经细胞用“V 型”FIB 的加工效果原图，由于图像形变，需要对图片做 校正，右图是校正后的结果。 图3. 小白鼠脑神经细胞用“L 型”FIB 的加工效果 图3 是小白鼠脑神经细胞用“L 型”FIB 的加工效果原图，图像未形变，是真实可信的结果。 线粒体 突触小体 突触间隙 图3. 小白鼠脑神经细胞用“V 型”（左图）和“L 型”（右图）FIB 的加工效果对比 图3 是“V 型”（左图）和“L 型”（右图）FIB 的加工效果对比，用“L 型”FIB 加工后的图 片中，线粒体、突触小体和突触间隙看的更加清晰。 日立双束FIB NX9000 的垂直镜筒专利设计，是使成像结果更加真实清晰可信，是双束 FIB 设 计的里程碑。