钛球表面研磨技术研究 - 强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 , 27 7 Vol.27 No.7 年 月 , 2015 7 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Jul. 2015 钛球表面研磨技术研究* , , , , , , , 谢 军 黄燕华 李朝阳 张海军 李 国 宋成伟 魏 胜 张昭瑞 ( , ) 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心 四川 绵阳 621900 : , 摘 要 采用四轴球体研磨方法对金属钛球进行精密研磨实验 通过 轮廓仪对球体表面粗糙度 Talsurf y , 。 : , 进行测试 通过靶丸表面轮廓仪检测钛球圆度 结果表明 钛球表面粗糙度可达小于 10nm 圆度小于 1.0 。 , , , μm 通过对球体的受力分析表明 在四轴空间对称分布的情况下 需满足四轴受力基本相同 研具半径为被研 , 。 球体的0.816倍 可获得圆度较好的球体 : ; ; ; 关键词 钛球 研磨 惯性约束聚变 靶丸 中图分类号: 文献标志码: : / TG506 A doi10.11884HPLPB201527.072002 ( ) , ( ) 、 在惯性约束聚变 ICF研究中 金属靶丸 如铍或梯度掺铜的铍靶丸 是点火靶 Z-inch靶的主要候选靶 p [ ] 1-3 。 、 、 , 丸 精密金属球体也是圆度仪 静电陀螺 轴承以及精密测量仪器中的重要元件 常常作为精密测量的基 [] [, ] 4 。 ( ) 25-8 。 准 点火靶金属靶丸 空心微球 的制备方法一般采用磁控溅射镀膜法和机械加工及热复合法制备 [ ]