3D 光学轮廓仪 - Sensofar.PDF

3D 光学轮 廓仪 Sensofar S系列 感受3D 必威体育精装版的S系列 3D光学轮廓仪，为 您展现全新的3D立 体形貌 全新设计的3D光学轮廓仪 S neox 颠覆传 统， 将共聚焦、干涉和多焦面叠加技术融 合于一身，测量头内无运动部件。 S neox ，将三种技术都做到 最好 2 融合3种测量方式于一体 体验 共聚焦 干涉 多焦面叠加 共聚焦技术可以用来测量 相位差干涉 相位差干 多焦面叠加技术是用来测 各 类 样 品 表 面 的 形 貌 。 涉是一种亚纳米级精度的 量非常粗糙的表面形貌。 它比光学显微镜有更高的 用于测量光滑表面高度形 根据Sensofar在共聚焦和干 横向分辨率,可达0.09 µm 。 貌的技术。它的优势在于 涉技术融合应用方面的丰 利用它可实现临界尺寸的 任何放大倍数都可以保证 富经验，特别设计了此功 测量。当用 150倍、0.95 数 亚纳米级的纵向分辨率。 能来补足低倍共聚焦测量 值孔径的镜头时，共聚焦 使用 2.5倍的镜头就能实现 的需要。该技术的最大亮点 在光滑表面测量斜率达70° 超高纵向分辨率的大视场 是快速 (mm/s)、扫描范围大 （粗糙表面达86° ）。专利 测量。 和支援斜率大（最大86°）。 的共聚焦算法保证Z轴测量 白光干涉白光干涉是 此功能对工件和模具测量 重复性在纳米范畴。 特别有用。 一种纳米级测量精度的用 于测量各种表面高度形貌 的技术。它的优势在于任 何放大倍数都可以保证纳 米级的纵向分辨率。 无运动部件的共聚焦 S neox系列是采用Sensofar专利设计的 Microdisplay 共聚焦扫描 技术。Microdisplay使用FLCOS原理，可实现无需机械运动的快