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激光多普勒干涉仪介绍 美国光动公司(OPTODYNE,INC ) 美国光动公司 OPTODYNE，INC. 美国光动公司总裁王正平教授 激光干涉仪测量原理比较 迈克逊干涉仪 单频激光干涉仪 双频激光干涉仪 激光多普勒干涉仪 位移测量安装比较 对光方便 MCV-500主要技术指标 MCV-500选购附件的测量功能 直线位移测量 非接触主轴精度测量 陀罗径向跳动曲线 采样：2000点/秒 低频振动测量 适用于最高为100Hz的低频振动测量 中频振动测量 适用于最高为100KHz的中频振动测量 高频振动测量 适用于极高频率的振动测量 MCV-5000系列激光干涉仪 X轴上下同步测量实例 Y轴左右同步测量实例 * Laser measurements are Optodyne business 单频激光干涉仪1960年 双频激光干涉仪1975年 1985年 技术发明年代 HP LDDM 双频(FM) 测量干涉条纹数 测量多普勒频率偏移 (测量相位差) 测量方法 分光干涉 多普勒效应 测量原理 激光波长 激光波长 测量基准 其它激光于涉仪 激光多普勒干涉仪 1860年MICHELSON干涉仪 白光 参考镜 反射镜 分光镜 探测器 产生干涉 测量光束 参考光束 1960年单频激光干涉仪 激光 角锥反射镜 角锥反射镜 分光镜 探测器 测量光束 参考光束 产生干涉 线偏振光 线偏振光 1970年双频激光干涉仪 激光 角锥反射镜 角锥反射镜 偏振分光镜 探测器 测量光束 参考光束 产生干涉 1985年LDDM电光调制、外差式 激光 角锥反射镜 探测器 光电调制 0～95% 相对湿度 10 0～3000米 高度 9 5～38℃ 操作环境温度 8 50～60赫 电源频率 7 90～265VAC 电源电压 6 3.6米/秒 光靶最大移动速度 5 15米 (特殊订货可加长到100米) 测量范围 4 1ppm (特殊订货可小于0.5ppm) 测量精度(不确定度) 3 0.01微米 分辨率 2 0.1ppm (特殊订货可小于0.05ppm) 激光稳定性 1 指 标 技术指标名称 序号 振动 测量 角偏 测量 滚珠丝杠 动态测量 圆形 轨迹 主轴 精度 分轴步进 对角线 位移 测量 靶标反射镜 MCV-500 反射镜移动方向 MCV-500 主轴 聚光镜 MCV-500+DI-500 * Laser measurements are Optodyne business * *