激光干涉仪原理介绍.ppt

下载文档

5
0
约小于1千字
约 35页
2017-07-04 发布于北京
举报
版权申诉
保障服务

激光干涉仪原理介绍.ppt

1、本文档共35页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

激光干涉仪原理介绍;基本概念 – 激光干涉仪;基本概念—机床精度的21项误差;激光输出可视为一束正弦波.雷尼绍XL-80所用的激光的波长是633nm. 激光具有三个重要特性：激光波长非常稳定，可以精密测量测量的要求。激光波长非常短，可以用于高精度测量。激光具有干涉特性。;基本概念 – 激光的产生;基本概念— 激光的干涉特性;线性测量原理;线性测量光路图; 激光头从激光头发出的激光被分光镜（A)分为2束光。一束光经过固定的反射镜形成参考光. 另一束激光经过移动的反射镜 (C) 形成测量光. 反射光和测量光经过分光镜后汇合，并且彼此干涉. ;线性测量原理;线性测量原理;线性测量;ISO 230-2 (1997)- International ASME B5.54 - U.S.A. BS 3800 - U.K. JIS B6330 - Japan GB 10931-89 - China VDI 3441 - Germany E60-099 - France ;角度测量;???度测量;角度测量;角度测量;直线度测量;直线度测量;直线度测量;直线度测量;直线度测量;垂直度测量;垂直度测量;平面度测量;平面度测量;回转轴测量 - RX10;回转轴测量 - RX10;为什麼需要补偿？;环境补偿单元;监控4个参数: 空气温度 \ 空气压力波长补偿相对湿度 / 材料温度 - 材料补偿 ;如果没有补偿会产生哪些误差?;;材料的热膨胀系数;交流与答疑。