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迈克尔逊干涉条纹分析系统的研究 摘 要 传统光机型迈克尔逊干涉仪和新型的光机电型迈克尔逊干涉仪都具有很多 缺点。我们设计了一种计算机辅助干涉条纹分析系统，来解决这个问题。这种 设计只是在传统仪器上增加了采集模块和分析模块，封装程度不高，成本较低。 系统采用传统迈克尔逊干涉仪原有光路，并通过在接收端加入一个CCD来实现 数据的采集，然后通过采集卡把数据传入计算机，在计算机上完成计算，最后 通过友好界面把计算结果显示出来。系统实现了条纹仿真、条纹滤波i条纹计 数、面型测量和白光条纹自动识别功能。 本文的主要工作如下： l、实现各种条纹的仿真。 建立了等倾干涉、等厚干涉和自光干涉的数学模型，设计了条纹仿真软件。 在软件界面上通过改变系统参数，可以直观地观察到条纹的变化。可改变的参 数有两干涉镜间距、两干涉镜夹角、光源光谱和摄像头相对光轴的位置等。 2、实现干涉条纹的滤波。 针对仿真和实际条纹，使用多种滤波方法进行滤波。通过分析和对比，最 后采用改进旋滤波法作为条纹处理方法。 3、实现条纹的自动计数。 采用过零计数和正切逼近法进行条纹计数，达到较为满意的效果。 4、实现了面型测量。 采用空气腔作为相移工具，通过四步位移相位恢复方法，进行面型测量。 5、实现了白光条纹自动识别。 采用图像相减去除背景的影响。以图像的对比度变化为依据，完成白光条 纹自动识别。 关键词：迈克尔逊干涉仪；仿真；滤波；条纹计数；面型测量；白光条纹识别 ofMichelsoninterference TheResearch analysis fringe system _ Abstract Thetraditional Michelson new and type interferometer,andoptical optical interferometerhas a electricalMichelson manyshortcomings．Wedesigned type interferometertosolvethis Michelson system computer—assisted problem．This is addcollectionmoduleand levelisnot designonly analysismodule，packagehigh andcostislow．This usethe ofthetraditional originaloptical System path Michelson thendeliverthedatatothe interferometer，and computerbyacquisition workwith aCCDtodirectionofdatacollection．And card，which