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微制造平台的精密隔振系统研究-光学精密工程
9 6 Vol . 9, No . 6
2 0 0 1 12 PTICS AND PRECISI N ENGINEERING Dec . , 2 0 0 1
1004924X(2001)
梅德庆, 陈子辰
( 浙江大学生产工程研究所, 浙江杭州 310027)
:,
,
, ,
,
,
: 微制造平台;仿生学; 主动振动控制
: TH113. 1;TH161. 6 :A
[3]
10Hz~ 100Hz . ,
1 引 言
0Hz~ 100Hz,
80 , ,
(MEMS) , [4]
MEMS ,,
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mm m , 1mm~
10mm nm [3]
[2]
MEMS ,
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[1]
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MEMS , ,
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0Hz~ 1Hz , ,,
1Hz~ 3Hz,
6Hz~ 65Hz ,
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: ( No.
6 , : 507
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2 微制造平台隔振系统的整体结构
1(b)
设计
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,,1.
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